Gebraucht SEMITOOL PSC-101 #9060137 zu verkaufen

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ID: 9060137
Wafergröße: 6"
Dual spin rinse dryers, 6" Controller Manuals included.
SEMITOOL PSC-101 Photoresist Equipment wurde entwickelt, um optimierte Leistung für automatisierte Kontaktresistprozesse nach dem Abisolieren zu bieten. Mit einem konfigurierbaren, integrierten Chemical Delivery System (CDS) ist SEMITOOL PSC 101 auf die Kompatibilität mit fast allen organischen und wässrigen Chemikalien, einschließlich saurer oder alkalischer Lösungen, ausgelegt. Das Gerät ist in der Lage, Prozessparameter sowohl für Kontakt- als auch für Nachstrippresiste genau zu steuern. Der CDS liefert präzise, wiederholbare und zuverlässige chemische Lieferung in Form einer bordeigenen chemischen Versorgung und automatisierten Nachschub. Das chemische Lieferwerkzeug der Maschine umfasst mehrere Vorratsbehälter mit jeweils einer eigenen Dosieranlage, die für die genaue Lieferung jeder Chemie separat aktiviert werden kann. Darüber hinaus umfasst das CDS digitale Controller zur Erstellung exakter Prozesstaktfolgen und eine umfassende Prozessparameterspeicherliste zur Speicherung von bis zu 99 verschiedenen Rezepturen. PSC-101 ist auf Flexibilität beim Auftragen von Resists ausgelegt. Es verfügt über eine Vielzahl von Montagemöglichkeiten für Substrate, einschließlich, aber nicht beschränkt auf Spin-Coating, Spray-Coating und Dip-Coating. Darüber hinaus ist das Modell in der Lage, eine breite Palette von Duschköpfen oder Kanonen zu verwenden, um den Durchsatz zu erhöhen. Das Gerät umfasst auch eine temperaturgesteuerte Spülkammer, so dass der Benutzer die Vorteile von Prozessen, die temperaturgesteuerte Spülungen und Post-Stripping erfordern. Die temperaturgesteuerte Spülkammer bietet Benutzern kontrollierte dielektrische Schichten, die einen qualitativ hochwertigen und kontrollierten Nachstrippvorgang ermöglichen. PSC 101 fungiert auch als Plattform für verbesserte Prozesse, wie die automatisierte Applikation von Passivierungsschichten. Automatisierte Passivierungsschichten produzieren bekanntermaßen viel höhere Ausbeuten und können helfen, Ausfallraten durch Verschmutzung zu reduzieren. Dieses Verfahren nutzt automatisierte dielektrische Beschichtung Ausgabeköpfe zu messen und steuern mehrere Schichten der Passivierung mit Präzision. Darüber hinaus ist SEMITOOL PSC-101 für einfachen Service und Wartung konzipiert. Dank des einfachen Zugriffs auf wartbare Endbenutzermodule können Anwender schnell Prozessprobleme diagnostizieren und Geräte auf optimale Leistung wiederherstellen. SEMITOOL PSC 101 Photoresist System bietet kontrollierte, wiederholbare Prozesse zum Nachstrippen von Kontaktresisten und anderen Spezialprozessen. Seine CDS ermöglicht eine präzise Kontrolle der Chemie Lieferung und Prozessparameter, während seine mehrfachen Montagemöglichkeiten und Spitzenleistung temperaturgesteuerte Spülkammer ermöglicht es Benutzern, die volle Vorteile von Prozessen zu nehmen, die temperaturgesteuerte Spülungen erfordern. Darüber hinaus bietet das Gerät Anwendern verbesserte Prozesse zur Verbesserung der Qualität und zur Reduzierung von Ausfallraten und ermöglicht einen einfachen Service- und Wartungszugriff über wartungsfähige Endbenutzermodule.
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