Gebraucht SEMITOOL PSC-101 #9173289 zu verkaufen

SEMITOOL PSC-101 Photoresist Equipment ist ein automatisiertes, voll funktionsfähiges Nassverarbeitungssystem für den Photoresist-Betrieb. Es ist eine modulare Einheit mit einer Vielzahl von Funktionen. Es besteht aus einem Hauptkörper, in dem die verschiedenen Gerätekomponenten untergebracht sind, und den Autoloadern, mit denen Substrate in die Maschine geladen werden. Das Photoresist-Tool besteht aus mehreren unterschiedlichen Verfahren zur Entwicklung und Abscheidung von Photoresist-Material, einschließlich Vorbehandlung, Resistbeschichtung, Nachbelichtungsbacken, Entwicklung und Streifen-/Spülverfahren. Die einzelnen Komponenten sind auf eine optimale Leistung für jeden dieser Schritte ausgelegt. Das Vorbehandlungsverfahren umfasst PECVD, wobei das Substrat oxidiert wird, während das Resistbeschichtungsverfahren so ausgelegt ist, dass es gleichmäßig Photolack auf das Substrat aufträgt. Der Nachbelichtungs-Backprozess dient der Aushärtung des Photolacks und der Verdampfung der Lösungsmittel, während im Entwicklungsprozess entweder ein Heißsprühverfahren oder ein stromloses Verfahren zur Entfernung von nicht belichtetem Photolack angewendet wird. Der Streifen/Spül-Prozess entfernt dann den restlichen Photolack aus dem Wafer. Das Photoresist Asset wird mit der Software SEMITOOL Printing Model Interface (PSI) gesteuert. Der Betrieb der Geräte wird durch die PSI-Software vollautomatisiert und ermöglicht Präzision, Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit in allen Prozessen. Neben der Autoloader-Fähigkeit kann das System auch mit einer Vielzahl von manuellen Prozessen wie Substratbeladung und manueller Widerstandseinstellung eingerichtet werden. Die Photoresist Unit ist so konzipiert, dass sie einfach zu bedienen, zu warten und zu aktualisieren ist. Die Konnektivitätsfunktion und die Remote-E/A-Funktion ermöglichen Fernbedienung, Echtzeitüberwachung und Maschinendiagnose. Die Maschine ist auch für minimale Stillstandszeiten mit mehreren Optionen zur vorbeugenden Wartung ausgelegt, einschließlich der automatischen Abschaltung der Widerstandslöschung, wenn die mag-Bahn aus der Toleranz geht. Insgesamt ist SEMITOOL PSC 101 Photoresist Tool ein hocheffizientes, automatisiertes Nassverarbeitungsgerät, das entwickelt wurde, um qualitativ hochwertige Photoresist-Prozesse mit Genauigkeit, Wiederholbarkeit und minimalen Ausfallzeiten bereitzustellen. Seine Eigenschaften wie Konnektivität, Remote-I/O-Fähigkeit und vorbeugende Wartungsoptionen machen es zu einer idealen Wahl für Halbleiterbauelementherstellung, Forschung und andere Photoresist-Operationen.