Gebraucht SEMITOOL Raider ECD 210 #293652808 zu verkaufen
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ID: 293652808
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2010
Electroplating system, 6"
2010 vintage.
SEMITOOL Raider ECD 210 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um qualitativ hochwertige Ergebnisse in einer Vielzahl von Anwendungen zu liefern. Dieses System wurde entwickelt, um zuverlässige und konsistente Ergebnisse zu liefern, wenn nass eine breite Palette von Photolackmaterialien entwickelt. Die Einheit besteht aus einer integrierten optischen Abbildungsmaschine und einer fortschrittlichen Nassverarbeitungssteuerung. Das Optical Imaging Tool verwendet eine helle Halogenlichtquelle mit einem optischen Asset mit einem 6-Positionsfilterrad und acht Plattenwinkeln. Dieses Modell wurde entwickelt, um den Resist auf dünnen Substraten so dünn wie 50 Mikrometer genau abzubilden. Die optische Abbildungseinrichtung weist ferner eine eingebaute computergesteuerte Waferstufe zur genauen Erfassung des Musters auf dem zu bearbeitenden Fotolack auf. Der Nassverarbeitungsregler ECD 210 ist darauf ausgelegt, auch auf dünnen Substraten eine breite Palette von Prozesschemien präzise zu liefern. Dieser nassverarbeitende Regler kann Abweichungen in der Resistchemie sowie Temperatur- und Feuchtigkeitsniveaus erkennen. Dies hilft, einen genauen und wiederholbaren Nassentwicklungsprozess zu gewährleisten. Dieses System ist auch mit einer eingebauten Vakuumkammer und einem Laufzeit-Chemie-Monitor ausgestattet, so dass Benutzer die Zuverlässigkeit ihrer Photoresist-Verarbeitung gewährleisten können. Die ECD 210-Einheit wurde entwickelt, um eine breite Palette von Substraten und Photoresist-Materialien zu handhaben, so dass Benutzer dünne Substrate mit außergewöhnlicher Auflösung abbilden können. Diese Maschine bietet Anwendern einen zuverlässigen und präzisen Entwicklungsprozess, der zu konsistenten Ergebnissen und verbesserten Erträgen führt. Darüber hinaus ermöglichen die erweiterten Funktionen des Tools es Benutzern, den Nass-Entwicklungsprozess zu optimieren und Zeit und Geld zu sparen.
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