Gebraucht SEMITOOL Raider ECD 310 #293652806 zu verkaufen

SEMITOOL Raider ECD 310
ID: 293652806
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2009
Electroplating system, 12" 2009 vintage.
SEMITOOL Raider ECD 310 ist eine fortschrittliche Photoresist-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um einen optimalen Bildgebungsprozess für extrem feine Strukturen bereitzustellen. Es basiert auf der bewährten automatischen reaktiven Ionenätztechnologie von SEMITOOL (ARIE) und bietet überlegenen Bildkontrast, bevorzugtes Bildprofil und hohe Gleichmäßigkeit. SEMITOOL RAIDER ECD-310 ist mit einer Trockenätzionenstrahlquelle der nächsten Generation ausgestattet, die eine hochauflösende Bildgebung und Feinätzung von nur wenigen Nanometern ermöglicht. Das System verwendet auch reaktives Ionenätzen (RIE) für die effiziente Entfernung von Photolack und eine spezielle Glühentladungsreinigungseinheit für eine überlegene Fehlerkontrolle. Neben der optimalen Leistung ist Raider ECD 310 auch darauf ausgelegt, die Betriebskosten zu senken. Es handelt sich um eine Einarbeitsmaschine, die separate Ätz- und Reinigungsschritte überflüssig macht. Es verwendet auch einen universellen Substrat Transfer Roboter, der effiziente Maskenwechsel und schnelle Verarbeitungsgeschwindigkeiten ermöglicht. RAIDER ECD-310 verfügt über eine robuste Windows-basierte Plattform für einen effizienten Betrieb. Die Werkzeugoperation kann an einzelne Einstellungen angepasst werden, wobei eine Reihe von Standard- und optionalen KEs zur Auswahl stehen. Dies beinhaltet einen Prozessmonitor zur Verfolgung der Vermögensleistung und zur Vermeidung von bildgebenden Fehlern sowie spezielle plasmabasierte Funktionen, um eine hohe lithographische Auflösung zu gewährleisten. SEMITOOL Raider ECD 310 ist eine zuverlässige, leistungsstarke Lösung für fortgeschrittene Bildgebung und Ätzen von extrem feinen Gerätestrukturen. Es verwendet ein modernes Dry-Etch-Ionenstrahl-Modell, um eine überlegene Bildauflösung zu gewährleisten und gleichzeitig die Betriebskosten zu minimieren, indem die Notwendigkeit mehrerer Operationen entfällt. Seine robuste Windows-basierte Plattform bietet eine Reihe von Funktionen und Steuerelementen, die es ideal für den Einsatz in Produktions- und Forschungseinstellungen machen.
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