Gebraucht SEMITOOL Raider ECD 310 #9357913 zu verkaufen

SEMITOOL Raider ECD 310
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Hersteller
SEMITOOL
Modell
Raider ECD 310
ID: 9357913
Wafergröße: 12"
Electroplating system, 12" Ulpa filtration, P/N: 70006-401 (3) Exhausts Drip pan LT Process robot, P/N: 610T0300-01 Station control User Interface: Rear, P/N: 650T0030-03 Front, P/N: 650T0030-501 Operating system: Embedded XP system (2) USB Ports Metrology unit, P/N: 90005-81 Buffer station, P/N: 640T0377-01 Transfer robot, P/N: 610T0300-01 FOUP / Cassette: ENTEGRIS F300 Auto pod, P/N: 01-018675 Wafer diameter: 300 ± 0.25 mm Wafer pitch: Half Pitch Wafer mapping capability: E84 Parallel I/O sensors, P/N: 4012-25 E99 Carrier ID reader (3) HERMOS RF Tag readers (3) FOUP Load ports, P/N: 640T0147-505 Chemical connections: Line-1: Catholyte A 180L Line-2: Anolyte A 65L Line-5: H2SO4 Line-6: H2O2 Line-7: CDA Line-8: DI Line-9: N2 Line-10: House vacuum Line-11: CO2 Fire suppression Photospec probe, P/N: 90005-01 pH Probe, P/N: 61326-16 Sampling port, P/N: 429T1635-503 RTA Probe, P/N: 90005-50 Real time analyzer: Gold box Drain Chamber 1 and 2: Rinse dry with bevel etch capability Lift automation assembly, P/N: 200T0085-03 Mixing tank, P/N: 330T0188-01 Delivery tank, P/N: 330T0190-15 Bowl, P/N: 100T0143-09 Temperature control: Heating / Cooling coils N2 Dryer Chamber 3, 4, 5, 6 and 7: Electroplating chamber with membrane Automation assembly L/R, P/N: 240T0057-01 Catholyte tank, P/N: 330T0186-515 Anolyte tank, P/N: 330T0243-501 Temperature control: Heating / Cooling coils Anodes, P/N: 14400-90 Membrane, P/N: 111T1388-03 Filter, P/N: 7004-63 Pump, P/N: 70959-31 De-bubbler, P/N: 119T1289-03 Ring rinse nozzle, P/N: 341T0043-01 Wafer rinse nozzle, P/N: 341T0043-01 Power supply, P/N: 900C0329-01 Chamber 8: Automation assembly L/R, P/N: 240T0057-01 Catholyte tank, P/N: 330T0186-515 Anolyte tank, P/N: 330T0243-501 Temperature control: Heating / Cooling coils Anodes, P/N: 14400-90 Membrane, P/N: 111T1388-03 Filter, P/N: 7004-63 Pump, P/N: 70959-31 De-bubbler, P/N: 119T1289-03 De-bubbler, P/N: 119T1289-0 Does no include Hard Disk Drive (HDD).
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SEMITOOL Raider ECD 310 ist eine Photolackausrüstung zur Herstellung von Photovoltaikzellen und anderen Halbleiterbauelementen. Es ist die neueste Ergänzung zu SEMITOOL Raider Familie von Resist-Systemen, entworfen, um den Prozess der Abscheidung von Photoresist zu vereinfachen. SEMITOOL RAIDER ECD-310 bietet eine zuverlässige, leistungsstarke Plattform zur Schablonenmaskierung mit einer Reihe von Merkmalen, die den Prozess der Schablonenmaskenherstellung vereinfachen. Das System verfügt über eine hochmoderne Roboter-Sprühfunktion, die die Abscheidung von Flüssigkeiten in einer hoch kontrollierten und wiederholbaren Weise ermöglicht, Abdeckung bis zu sechs Quadratfuß mit einem einzigen Lauf. Raider ECD 310 Präzision, Zwei-Achsen-Sprayrobot ermöglicht eine genauere Schablonenplatzierung, Minimierung von Abfall und ermöglicht eine genaue Maskenregistrierung. Das Gerät enthält auch eine benutzerdefinierte, hochauflösende Kamera, die eine präzise Maskenvisualisierung und einfache Visualisierung von Prozessschritten ermöglicht. Dies trägt dazu bei, dass alle Prozessschritte mit einer Genauigkeit von ca. 15 μ durchgeführt werden. Die Maschine nutzt einen Hochleistungs-UV-Laser, der die für eine optimale Resistmusterung benötigte Leistung liefert. RAIDER ECD-310 verwendet auch ein Hochvakuum-Werkzeug, um die für die Abscheidung von Photolack erforderliche niedrige Temperatur aufrechtzuerhalten sowie Feuchtigkeit und Luftverunreinigungen herauszuziehen. Das Asset beinhaltet auch die Verwendung eines Softwarepakets, um die Einrichtung, Wiederholbarkeit und Wartung der Sprayrobot-Parameter zu erleichtern. Diese Software vereinfacht die Sprayrobot-Kalibrierung, spart Zeit und reduziert das Fehlerpotenzial. Neben dem Sprühen von Fotoresist kann SEMITOOL Raider ECD 310 auch chemisches Nassätzen durchführen, was die Herstellung selbst komplexester Photovoltaik-Geräte ermöglicht. SEMITOOL RAIDER ECD-310 ist ein intuitives und einfach zu bedienendes Modell, das eine ausgezeichnete Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Genauigkeit bietet. Das Leistungsspektrum macht es zu einer idealen Lösung für die Herstellung von Photovoltaikzellen und -geräten.
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