Gebraucht SEMITOOL Raider ECD 310 #9384187 zu verkaufen

SEMITOOL Raider ECD 310 ist eine automatisierte Resistabisolier- und Reinigungsanlage, die für eine präzise Photolithographie-Ätzverarbeitung entwickelt wurde. Dieses System dient zum Streifen und Reinigen von Photolack und anderen Substraten, die für die Ätzverarbeitung in der Halbleiterindustrie benötigt werden. SEMITOOL RAIDER ECD-310 ist mit einer intuitiven Benutzeroberfläche entwickelt, so dass es einfach zu bedienen und einfach zu programmieren. Das Gerät verwendet einen einstellbaren Megasonics-Modus und bietet dem Benutzer eine breite Palette von Optimierungsoptionen für Ätzprozess Sauberkeit. Die Maschine verfügt über ein Doppeltankwerkzeug, das Flexibilität und Effizienz bei Reinigungsanwendungen bietet. Beide Behälter sind mit geschlossenen Hohlräumen gebaut, die die Flüssigkeitsverschiebung begrenzen sollen. Es verfügt auch über eine einzigartige Multi-Step-Option, die die Prozessgleichförmigkeit und -integrität erheblich verbessern kann. Der ECD 310 nutzt eine effiziente Heizanlage, die ein gleichmäßiges Heizprofil während des Prozessbetriebs bietet. Es ist mit Lift-off, Spray-off und Scrub-off Reinigungsanwendungen ausgestattet. Der Lift-off-Modus verwendet erwärmtes DI-Wasser, um eine gleichmäßige Wasseroberfläche zu erreichen, um kleine Photolackpartikel vom Substrat zu heben. Der Sprühmodus verwendet hohen Druck, um eine schonende Flüssigkeitsentfernung aus dem Wafer zu erzielen. Der Scrub-off-Modus nutzt Ultraschall-Kavitationsenergie für eine optimale Reinigung. Dieses Modell ist hochautomatisiert, mit fortschrittlicher Robotik für den genauen Transfer von Substraten von einer Station zur anderen. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Substraten zu handhaben, wie Photomasken, Wafer, 200mm/300mm, und Durchsilizium-Vias (TSV). Es verfügt auch über Roboterteile, die für die Reinigung von Prozessrezepten programmiert werden können und verfügt über einen „Batch-Modus“, mit dem Programmrezepte gespeichert und zurückgerufen werden können. Der ECD 310 entspricht den SEMI S2- und EHS-Standards und ist somit sicher für den Einsatz in der Produktion. Es verfügt über einen modernen Farb-Touchscreen, der eine einfache Bedienung ermöglicht und eine Reihe von Funktionen bietet, einschließlich Echtzeit-Prozessüberwachung, Prozessverlauf und Berichtsfunktionen. Darüber hinaus ist die Ausrüstung tragbar und kann überall bewegt und eingerichtet werden. Insgesamt ist Raider ECD 310 ein fortschrittliches und benutzerfreundliches automatisiertes Photolacksystem, das Anwendern beim Ätzen hilft. Es verfügt über eine Vielzahl von Funktionen und entspricht den Industriestandards, so dass es eine ideale Wahl für Ätzanwendungen ist.