Gebraucht SEMITOOL Raider ECD #9275234 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9275234
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2004
Electroplating system, 8"
Capsule
(2) ECD
SRD
2004 vintage.
SEMITOOL Raider ECD ist eine Photoresist-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um niedrige k und trockene Oxidfilmstapel für Backend-Anwendungen zu erstellen. Dieses System ist eine ECD-Kammer (Electron Cyclotron Deposition), die sowohl UV-Belichtungs- als auch Zersetzungstechniken für eine optimale Herstellung von Low K-Materialien kombiniert. Die Einheit verwendet zwei zonale Kompartimente, getrennt durch HF-Abschirmung, um die Abscheidung von Oxid auf dem Substrat und dann Zersetzung von Photoresist über die Oxidstruktur zu ermöglichen. Raider ECD ist eine ideale Maschine für OEM-Anwendungen und kleine Wafer Fabs, da es erschwinglich, kompakt und integriert ein koaxiales Doppelverschlusswerkzeug für längere Lebensdauer. SEMITOOL Raider ECD hat ein einzigartiges Design und Eigenschaften, die für eine Vielzahl von dielektrischen Anwendungen vorteilhaft sind. Es kommt mit einem Preclean Asset, das spezielle organische und anorganische Chemikalien verwendet, um Substratoberflächen durch Entfernen von restlichen nativen Oxid herzustellen. Es verwendet ein Dual-Shutter-Modell, um Materialien vor Partikeln und Verunreinigungen zu schützen und gleichzeitig Rückwärtskompatibilität für Altprozesse und Akzeptanz von Standardrezepten zu ermöglichen. Raider ECD bietet mit seinen unterschiedlichen Prozesskammern eine hohe Flexibilität. Die Abscheidekammer ist für die präzise Abscheidung von Oxidmaterialien ausgelegt, und die Zersetzungskammer ist mit fortschrittlichen Photoresisttechniken für den Feinlinien- und Merkmalsdruck ausgestattet. Dieses Photolackverfahren ist in der Lage, bis zu 6 verschiedene Merkmalsgrößen und eine minimale Merkmalsgröße von 40 nm zu erzeugen. Darüber hinaus ist SEMITOOL Raider ECD mit Präzisionsraten und Vorspannungssteuerungsfunktionen ausgestattet, die eine präzise Dickenkontrolle von Dielektrika ermöglichen. Raider ECD ist ein unverwechselbares Produkt, das sich auf dem Photoresist-Markt durch seine hohe Verarbeitungsrate, niedrige Kosten und hohe Präzision auszeichnet. Es hat sich als hervorragende Leistung sowohl in akademischen als auch in kommerziellen Anwendungen erwiesen. Sein einzigartiges Design und seine Eigenschaften machen es zu einer zuverlässigen Ausrüstung für jede Fotolackherstellung. SEMITOOL Raider ECD ist ein ideales Photolacksystem für diejenigen, die eine wirtschaftliche, zuverlässige und präzise Photolackverarbeitung suchen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor