Gebraucht SEMITOOL Raider ECD #9300422 zu verkaufen
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SEMITOOL Raider ECD ist eine Photoresist-Ausrüstung, die für größere Produktions- und Entwicklungsanwendungen in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es ist ein vollständig integriertes Verarbeitungssystem für Wafer-Handling, Photoresist-Beschichtung, Backen, Ausrichtung, Schrittfotografie, Entwicklung und Spülung. Das Gerät verfügt über eine Windows-basierte grafische Benutzeroberfläche (GUI) für einfache Bedienung und Programmierung. Das Touchscreen-Display bietet viele Optionen für den Benutzerzugriff und intuitive Menüs, um den Bediener durch Fotoresist-Aufgaben zu führen. Mit seinem Autoloader können Wafer schnell und einfach in die Maschine geladen werden. Darüber hinaus können die Prozessschritte in der Software vordefiniert werden, sodass Benutzer ununterbrochene Zyklen mehrerer Belichtungen ausführen können. Raider ECD verfügt über einen On-Board Resist Coat Coater mit präzisen Diffusionsanschlägen, so dass eine genaue Beschichtungsdicke erreicht werden kann - auch beim Wechsel vom Resist zum Entwickler. Es enthält eine neu entworfene Widerstandsbahn mit einem beheizten Rad, die bei jedem Backzyklus eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit bietet. Das Werkzeug verfügt außerdem über ein Vakuumfutter zur Waferausrichtung, einen Strahltisch für Belichtungen, einen Autofokuskopf und einen Autodrive für rotatorische, lineare und mehrfache Belichtungen. SEMITOOL Raider ECD enthält auch einen neuen proprietären Entwicklersprayhead für verbesserte Up-Time und bidirektionale Operationen. Es verfügt über einen offenen Rahmen Design leicht zugänglich und saubere Teile für die Wartung. Die Anlage ist in der Lage, Durchsatzgeschwindigkeiten bis zu 300 Wafer pro Stunde und hat eine maximale Wafergröße von bis zu 300mm. Es eignet sich sowohl für Batch- als auch für Single-Photoresist-Prozesse. Raider ECD wurde entwickelt, um sowohl Präzision als auch Automatisierung im Photoresist-Herstellungsprozess bereitzustellen. Es verfügt über intuitive Bediener, um eine schnelle Einrichtung und Programmierung zu gewährleisten, bietet genaue Ergebnisse mit wiederholbarer Wiederholbarkeit und produziert zuverlässige Wafer mit Konsistenz. Das Modell ist mit einem fabrikweiten Automatisierungsnetzwerk verbunden, das es Benutzern ermöglicht, den Prozess von einem zentralen Ort aus zu überwachen und zu steuern. Diese Ausrüstung ist einer der führenden Anbieter auf dem Markt für Photoresistsysteme und ist die perfekte Wahl für eine größere Produktion und Entwicklung.
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