Gebraucht SEMITOOL Raider #293635960 zu verkaufen

ID: 293635960
Wafergröße: 12"
Single wafer processing system, 12" Model No: RE12F2ECD1204 Substrate: Si, 12" S2 Computer 502SE Controller Remote PPS MARATHON Standard Interface: CDRU, AARU (6) CCD Cameras Process: Cu, Ni, Eutectic, High lead plating Automation: Type: (2) FOUP WIP (PGV Compatible) COAXIAL HT Robot STI Robot controller End effect controller: Edge grip Wet transfer edge grip FOUP ID: ASYST, P/N: 9750-2000-000 HERMOS RF Tag reader Vacuum source Wafer protrusion sensor Process module: CPC 1, 10, 12: Process: SRD / Prewet PTFE Spray chamber P/N: 271T0020-03 Rotor: Cantilever, N2 Wafer purge Bulk fill supply with filter, 5" IW Drain Spray bar nozzel, P/N: 341 T0011-05 CPC 2: Process: Ni Plating Chamber, P/N: 271T0130-01 CFD III Ring, P/N: 213T1055-501 Anode, P/N: 110T0198-01, 111T0000-10 Plating PS, P/N: T16852-118 Wafer present sensor Mercury contact Wafer extraction (Mechanical) Flow meter on chemical line Shield / Weir, P/N: 111T1204-511 CPC 3, 4, 9: Process: Solder plating (Eutectic) Chamber, P/N: 271T0130-01 CFD III Ring, P/N: 213T1055-501 Plating PS, P/N: T16852-118 Wafer present sensor Mercury contact CPC 5, 6, 7, 8: Process: Solder plating (High lead) Chamber, P/N: 271T0130-01 CFD III Ring, P/N: 213T1055-501 Plating PS, P/N: T16852-118 Wafer present sensor Mercury contact Wafer extraction Flow meter on chemical line Shield / Weir, P/N: 111T1204-511 CPC 11: Process: Cu Plating Chamber, P/N: 271T0130-01 CFD III Ring, P/N: 213T1055-501 Anode, P/N: 111T1197-01 Plating PS, P/N: T16852-118 Wafer present sensor Mercury contact Wafer extraction Flow meter on chemical line Shield / Weir, P/N: 111T1204-511 Capacity: 48 L Style: Unsealed NPP Heat exchange coils Temperature: 50-55°C Filter, 10" Sensor: (5) Floats LEVITRONIX BPS 3 Pump WK AP50 Pump Supply: ARU / CDU / Bulk fill / Manual fill tube Sample port CPC 2 Ni Plating solution Carbon polishing filter Conditioning electrodes pH Monitor Sight tube Power supply Tank 2: High lead solder Capacity: 120 L Style: Unsealed NPP Heat exchange coils Temperature: 25-35°C Filter, 10" Sensor: (5) Floats LEVITRONIX BPS 3 Pump WK AP50 Pump Supply: Bulk fill / CDU / Manual fill tube Sample port CPC 5, 6, 7, 8 Chemical: High lead plating solution Sight tube Tank 3: Eutectic solder Capacity: 120 L Style: Unsealed NPP Heat exchange coils Temperature: 25-35°C Filter, 10" Sensor: (5) Floats LEVITRONIX BPS 3 Pump WK AP50 Pump Supply: Bulk fill / CDU / Manual fill tube Sample port CPC 3, 4, 9 Chemical: Eutectic plating solution Sight tube Tank 4: Cu Capacity: 48 L Style: Unsealed NPP Heat exchange coils Temperature: 25°C Filter, 10" Sensor: (5) Floats LEVITRONIX BPS 3 Pump WK AP50 Pump Supply: ARU / CDU / Bulk fill / Manual fill tube Sample port CPC 11 Cu Plating solution Sight tube Drains: IW, Eutectic, Hi lead, Ni, Cu Options: (3) Heater chillers Dl Booster pump cabinet and Interface Power supply: 480 V, 4 Wire, 3-Phase.
SEMITOOL Raider ist eine fortschrittliche, automatisierte Photoresist-Ausrüstung, die die hohen Anforderungen an Leistung und Genauigkeit der heutigen Halbleiter- und Elektronikkomponentenproduktion erfüllt. Dieses System bietet vollautomatische Wafer-Belichtungs- und Verarbeitungsfunktionen, die es Herstellern ermöglichen, die Erträge zu maximieren, Kosten zu senken und den Produktionsdurchsatz zu erhöhen. Raider ist mit einer präzisen 8-Zoll-Belichtungseinheit ausgestattet, die 2048 Beamlets und eine 424-mm-Linse (NA) verwendet und Belichtungsfelder von bis zu 30mm anwenden kann. Dies ermöglicht es Anwendern, die Genauigkeit und Auflösung zu erreichen, die erforderlich ist, um die qualitativ hochwertigsten Photolackprodukte zu liefern. Die Belichtungsmaschine ist auch mit Pullback-Ausrichtungsmöglichkeiten und automatisierter Substratklemmung und Kantenerkennung ausgestattet, wodurch eine genaue Belichtung und Ausrichtung über die Substratoberfläche ermöglicht wird. Neben seinen überlegenen Belichtungsfunktionen bietet SEMITOOL Raider Photoresist Tool auch eine fortschrittliche Materialverwaltungslösung, die die Photoresist-Zuordnung optimiert und die Genauigkeit der Rezepteinstellungen und -parameter gewährleistet. Diese fortschrittliche Softwarelösung ermöglicht es Benutzern, ohne manuelle Eingabe schnell und einfach auf Rezepte für jeden Fotolacktyp zuzugreifen, sie anzuzeigen und zu aktualisieren. Dies beseitigt Fehlerpotenziale und stellt sicher, dass alle Rezepte korrekt strukturiert und auf unberührte Leistung optimiert sind. Raider verfügt außerdem über eine integrierte Dünnschichtmessung, mit der Kunden die Qualität über den gesamten Lebenszyklus des Photoresist Asset überwachen können. Diese Qualitätsmesslösung ermöglicht automatisierte und manuelle Qualitätsüberprüfungen und liefert wertvolle Daten und Analysen in Bezug auf Resistdicke, Gleichmäßigkeit und Beschichtungsqualität. Diese FähigkeitenIch helfe, Konsistenz und Leistung während der gesamten Produktion zu gewährleisten und gleichzeitig kurzfristige und langfristige Kosten zu senken. Insgesamt ist SEMITOOL Raider ein hochentwickeltes und fortschrittliches Photoresist-Modell, das überlegene Belichtungs-, Materialmanagement- und Dünnschichtmessfähigkeiten bietet. Die automatisierten Prozesse tragen dazu bei, die Erträge zu maximieren, Kosten zu senken und den Produktionsdurchsatz zu erhöhen. Mit fortschrittlichen Funktionen und Datenanalysen können Hersteller auf Raider angewiesen sein, um qualitativ hochwertige, hochgenaue Resistprodukte zuverlässig zu liefern.
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