Gebraucht SEMITOOL Raider #293635960 zu verkaufen
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ID: 293635960
Wafergröße: 12"
Single wafer processing system, 12"
Model No: RE12F2ECD1204
Substrate: Si, 12"
S2 Computer
502SE Controller
Remote PPS
MARATHON Standard
Interface: CDRU, AARU
(6) CCD Cameras
Process: Cu, Ni, Eutectic, High lead plating
Automation:
Type: (2) FOUP WIP (PGV Compatible)
COAXIAL HT Robot
STI Robot controller
End effect controller:
Edge grip
Wet transfer edge grip
FOUP ID: ASYST, P/N: 9750-2000-000
HERMOS RF Tag reader
Vacuum source
Wafer protrusion sensor
Process module:
CPC 1, 10, 12:
Process: SRD / Prewet
PTFE Spray chamber P/N: 271T0020-03
Rotor: Cantilever, N2 Wafer purge
Bulk fill supply with filter, 5"
IW Drain
Spray bar nozzel, P/N: 341 T0011-05
CPC 2:
Process: Ni Plating
Chamber, P/N: 271T0130-01 CFD III
Ring, P/N: 213T1055-501
Anode, P/N: 110T0198-01, 111T0000-10
Plating PS, P/N: T16852-118
Wafer present sensor
Mercury contact
Wafer extraction (Mechanical)
Flow meter on chemical line
Shield / Weir, P/N: 111T1204-511
CPC 3, 4, 9:
Process: Solder plating (Eutectic)
Chamber, P/N: 271T0130-01 CFD III
Ring, P/N: 213T1055-501
Plating PS, P/N: T16852-118
Wafer present sensor
Mercury contact
CPC 5, 6, 7, 8:
Process: Solder plating (High lead)
Chamber, P/N: 271T0130-01 CFD III
Ring, P/N: 213T1055-501
Plating PS, P/N: T16852-118
Wafer present sensor
Mercury contact
Wafer extraction
Flow meter on chemical line
Shield / Weir, P/N: 111T1204-511
CPC 11:
Process: Cu Plating
Chamber, P/N: 271T0130-01 CFD III
Ring, P/N: 213T1055-501
Anode, P/N: 111T1197-01
Plating PS, P/N: T16852-118
Wafer present sensor
Mercury contact
Wafer extraction
Flow meter on chemical line
Shield / Weir, P/N: 111T1204-511
Capacity: 48 L
Style: Unsealed NPP
Heat exchange coils
Temperature: 50-55°C
Filter, 10"
Sensor: (5) Floats
LEVITRONIX BPS 3 Pump
WK AP50 Pump
Supply: ARU / CDU / Bulk fill / Manual fill tube
Sample port
CPC 2
Ni Plating solution
Carbon polishing filter
Conditioning electrodes
pH Monitor
Sight tube
Power supply
Tank 2: High lead solder
Capacity: 120 L
Style: Unsealed NPP
Heat exchange coils
Temperature: 25-35°C
Filter, 10"
Sensor: (5) Floats
LEVITRONIX BPS 3 Pump
WK AP50 Pump
Supply: Bulk fill / CDU / Manual fill tube
Sample port
CPC 5, 6, 7, 8
Chemical: High lead plating solution
Sight tube
Tank 3: Eutectic solder
Capacity: 120 L
Style: Unsealed NPP
Heat exchange coils
Temperature: 25-35°C
Filter, 10"
Sensor: (5) Floats
LEVITRONIX BPS 3 Pump
WK AP50 Pump
Supply: Bulk fill / CDU / Manual fill tube
Sample port
CPC 3, 4, 9
Chemical: Eutectic plating solution
Sight tube
Tank 4: Cu
Capacity: 48 L
Style: Unsealed NPP
Heat exchange coils
Temperature: 25°C
Filter, 10"
Sensor: (5) Floats
LEVITRONIX BPS 3 Pump
WK AP50 Pump
Supply: ARU / CDU / Bulk fill / Manual fill tube
Sample port
CPC 11
Cu Plating solution
Sight tube
Drains: IW, Eutectic, Hi lead, Ni, Cu
Options:
(3) Heater chillers
Dl Booster pump cabinet and Interface
Power supply: 480 V, 4 Wire, 3-Phase.
SEMITOOL Raider ist eine fortschrittliche, automatisierte Photoresist-Ausrüstung, die die hohen Anforderungen an Leistung und Genauigkeit der heutigen Halbleiter- und Elektronikkomponentenproduktion erfüllt. Dieses System bietet vollautomatische Wafer-Belichtungs- und Verarbeitungsfunktionen, die es Herstellern ermöglichen, die Erträge zu maximieren, Kosten zu senken und den Produktionsdurchsatz zu erhöhen. Raider ist mit einer präzisen 8-Zoll-Belichtungseinheit ausgestattet, die 2048 Beamlets und eine 424-mm-Linse (NA) verwendet und Belichtungsfelder von bis zu 30mm anwenden kann. Dies ermöglicht es Anwendern, die Genauigkeit und Auflösung zu erreichen, die erforderlich ist, um die qualitativ hochwertigsten Photolackprodukte zu liefern. Die Belichtungsmaschine ist auch mit Pullback-Ausrichtungsmöglichkeiten und automatisierter Substratklemmung und Kantenerkennung ausgestattet, wodurch eine genaue Belichtung und Ausrichtung über die Substratoberfläche ermöglicht wird. Neben seinen überlegenen Belichtungsfunktionen bietet SEMITOOL Raider Photoresist Tool auch eine fortschrittliche Materialverwaltungslösung, die die Photoresist-Zuordnung optimiert und die Genauigkeit der Rezepteinstellungen und -parameter gewährleistet. Diese fortschrittliche Softwarelösung ermöglicht es Benutzern, ohne manuelle Eingabe schnell und einfach auf Rezepte für jeden Fotolacktyp zuzugreifen, sie anzuzeigen und zu aktualisieren. Dies beseitigt Fehlerpotenziale und stellt sicher, dass alle Rezepte korrekt strukturiert und auf unberührte Leistung optimiert sind. Raider verfügt außerdem über eine integrierte Dünnschichtmessung, mit der Kunden die Qualität über den gesamten Lebenszyklus des Photoresist Asset überwachen können. Diese Qualitätsmesslösung ermöglicht automatisierte und manuelle Qualitätsüberprüfungen und liefert wertvolle Daten und Analysen in Bezug auf Resistdicke, Gleichmäßigkeit und Beschichtungsqualität. Diese FähigkeitenIch helfe, Konsistenz und Leistung während der gesamten Produktion zu gewährleisten und gleichzeitig kurzfristige und langfristige Kosten zu senken. Insgesamt ist SEMITOOL Raider ein hochentwickeltes und fortschrittliches Photoresist-Modell, das überlegene Belichtungs-, Materialmanagement- und Dünnschichtmessfähigkeiten bietet. Die automatisierten Prozesse tragen dazu bei, die Erträge zu maximieren, Kosten zu senken und den Produktionsdurchsatz zu erhöhen. Mit fortschrittlichen Funktionen und Datenanalysen können Hersteller auf Raider angewiesen sein, um qualitativ hochwertige, hochgenaue Resistprodukte zuverlässig zu liefern.
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