Gebraucht SEMITOOL Raider #9029095 zu verkaufen
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ID: 9029095
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2006
Plating system, 8"
(4) Chambers
Missing parts
Currently installed in a cleanroom
2006 vintage.
SEMITOOL Raider ist eine Photoresist-Ausrüstung, die in der Halbleiterindustrie zur Verarbeitung von Wafern verwendet wird. Das System dient zum Beschichten, Strippen und Aschen von Photolack aus Halbleiterscheiben. Das Gerät wurde entwickelt, um konsistente und wiederholbare Verarbeitungszeiten, Gleichmäßigkeit über Wafer und verbesserte Erträge zu bieten. Raider bietet eine Reihe von Funktionen, um den Anforderungen verschiedener Anwendungen gerecht zu werden. Die Maschine kann für manuelle oder vollautomatische Operationen konfiguriert und auf spezifische Anwendungen zugeschnitten werden. Es bietet auch eine Reihe von Sicherheitsfunktionen, darunter doppelt abgedichtete Türen, einen eingebauten Not-Aus-Knopf, ein SPS-basiertes Sicherheitswerkzeug, Spritzwächter zum Schutz der Bediener und ein elektrostatisch konformes Gehäuse. Die Anlage umfasst mehrere Bearbeitungskammern, darunter eine Vorreinigungskammer, eine Belichtungskammer, eine Förderkammer und eine Nachbelichtungskammer. Die Vorreinigungskammer des Modells dient zur Reinigung des Substrats, während die Belichtungskammer dazu dient, das Substrat produktspezifischer UV-Strahlung auszusetzen. Die Förderkammer ist dort, wo Wafer von einer Kammer zur anderen bewegt werden. Schließlich dient die Nachbelichtungskammer zur Entfernung von Restphotoresist nach Belichtung. Das Gerät verfügt über einen integrierten Roboterarm, der eine vereinfachte Handhabung von Wafern und einen verbesserten Waferdurchsatz ermöglicht. Der Arm kann programmiert werden, um Wafer automatisch von der Anfangskammer zur Endkammer zu bewegen, sowie um Wafer vor und nach der Verarbeitung zu drehen. Der Roboterarm kann so programmiert werden, dass er bis zu drei Wafer gleichzeitig mit einer Geschwindigkeit von bis zu 10 cm/s bewegt. SEMITOOL Raider ist entworfen, um eine Vielzahl von Photolackmaterialien, einschließlich Standard-wässrige und nicht-wässrige Lösungen zu behandeln. Das System kann auch konfiguriert werden, um mehrere Materialien gleichzeitig zu handhaben, was eine erhöhte Effizienz ermöglicht. Zusätzlich kann das Gerät so programmiert werden, dass verschiedene Wafertypen zu unterschiedlichen Zeiten verarbeitet werden. Die Maschine ist auch mit einem fortschrittlichen Steuerungstool entwickelt, das es Benutzern ermöglicht, die Bearbeitungsparameter zu überwachen und anzupassen, sowie Kalibrierungskurven und Timing-Parameter einzustellen. Dadurch wird sichergestellt, dass das Asset Wafer auf höchstem Leistungsniveau produziert. Das Modell ist auch mit mehreren Sicherheitsmerkmalen entworfen, um die Sicherheit der Betreiber zu gewährleisten. Dazu gehören Sicherheitsabsperrventile, die bei Problemen die Materialzufuhr schnell stoppen können, sowie ein Not-Aus-Schalter, mit dem das Gerät sofort angehalten werden kann, wenn ein Bediener den Raum verlassen muss. Insgesamt ist Raider ein zuverlässiges und effizientes System, das den Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Das Gerät bietet schnelle und präzise Bearbeitungszeiten, verbesserte Erträge und eine benutzerfreundliche Bedienung. Es ist eine großartige Option für Unternehmen, die ihre Photoresist-Verarbeitungsfunktionen verbessern möchten.
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