Gebraucht SEMITOOL RFS 500/700 #9216879 zu verkaufen

SEMITOOL RFS 500/700 (Resist Film Stripper) ist ein Photoresist-Gerät, das zum Streifen, Reinigen und Trocknen von Fotoresists wie Fotoresist-Masken, sputterten Photoresist-Schichten und Photoresist-Streifen verwendet wird. Es ist entworfen, um Photoresists auf einer Reihe von Wafern oder Sonnenkollektoren oder innerhalb einer Vakuumumgebung mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit zu streifen und zu reinigen. Der RFS 500/700 ist ein einzelnes Prozessmodul, das den erforderlichen Druck, die Temperatur und die Durchflussrate erzeugt, um optimale Ergebnisse zu erzielen. Sie besteht aus einem PD-Regler und einem Trigaskrümmer, der die notwendigen Versorgungsleistungen wie Spülen, Nachfüllen und Spülen der Prozesskammer steuert. Das Gerät verwendet einen Micro-Sprayer, um das Photoresist-Reinigungsmittel mit Stickstoff und Wasser zu mischen und zu besprühen sowie eventuelle Rückstände aus dem Photoresist mit minimalem Einfluss auf das darunter liegende Substrat zu entfernen. Darüber hinaus ermöglicht ein verstellbarer Fünfpunktförderer eine gleichmäßige Verteilung der Reinigungsflüssigkeit, um sicherzustellen, dass eine nicht gleichförmige Filmentnahme nicht erfolgt. Sobald der Photolack abgestreift und gereinigt ist, wird er mit einem hocheffizienten Vakuum getrocknet. Dies geschieht mit Hilfe einer Turbo-Vakuumpumpe, die einen Hochgeschwindigkeitsluftstrom erzeugt, der das Lösungsmittel und die befeuchteten Luftmoleküle verdampft und eine schnelle und sichere Entfernung des Photolacks ermöglicht. SEMITOOL RFS 500/700 wurde entwickelt, um konsistente, wiederholbare Ergebnisse mit einer Vielzahl von Photoresist-Entfernungsmitteln und Substraten sowie einer Vielzahl von Temperatur-, Druck- und Durchflussratenkriterien zu liefern. Es ist mit einem integrierten Stromversorgungs- und Lüftungssystem aufgebaut und bietet über seine eigene, gesicherte Software Zugang zur Prozesskammer, die es Ingenieuren ermöglicht, den Stripp- und Reinigungsprozess zu überwachen. Insgesamt ist SEMITOOL RFS 500/700 eine effektive und zuverlässige Photolackeinheit, die in der Lage ist, die unterschiedlichsten Photolacke und Substrate innerhalb einer Hochvakuumumumgebung für eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit zu entfernen. Es ist eine ideale Maschine für jede Operation, die das sichere und konsistente Abisolieren und Reinigen von Photoresists und ähnlichen Prozessen erfordert.