Gebraucht SEMITOOL / RHETECH P28SR11S-10001 #9357791 zu verkaufen

SEMITOOL/RHETECH P28SR11S-10001 Photoresist Equipment ist ein leistungsfähiges, automatisiertes System zur Verarbeitung von Wafern mit Photoresist-Schichten. Mit fortschrittlichen Funktionen und einem robusten Servo-Robot gesteuerten Reinigungsmodul ist es in der Lage, die anspruchsvollsten Photolackgewebe, wie z.B. Compounds und dünne Filme, zu handhaben. Die Einheit besteht aus 4 Hauptkomponenten - einer Prozesskammer, einem Flüssigkeitshandhabungsmodul, einer SPS-Steuereinheit und einer Abgasanlage. Die Prozesskammer hat ein einzigartiges Design, das es der Maschine ermöglicht, die Wafertemperatur präzise und präzise zu verwalten und zu steuern. Es hat auch eine Niederdruck gepulste Plasmaquelle innerhalb der Kammer, die verwendet wird, um die Leistung des Photolacks zu verbessern. Das innerhalb der Kammer erzeugte Plasma ist sehr konsistent und eignet sich sowohl zum Ätzen als auch zum Verdicken der Photolackschicht. Die Kammer ist auch mit zwei Sicherheitssystemen ausgestattet - einem Sauerstoff-Sensormodul und einem Titanoxid-Millimeter-Filter -, die im Notfall jedes Vorhandensein von Sauerstoff erkennen und den Prozess abschalten können. Das Flüssigkeitshandhabungsmodul dient zur Messung, Abgabe und Extraktion von Chemikalien für die Photoresistprozesse. Dieses Modul verfügt über Präzisionsmessung und lineare Stufen, um mit Behältern bestimmter Größen zu arbeiten. Die Präzisionsmessung nutzt robotergestützte Präzision, um Flüssigkeiten zu extrahieren und abzugeben. Die SPS (Programmable Logic Controller) dient zur Steuerung des gesamten Prozesses. Dies ermöglicht eine genaue und zuverlässige Steuerung aller Stufen im Photolackprozess. Die Abgasanlage ist zur Erfassung, Aufnahme und Abgabe gasförmiger Produkte ausgelegt, die während des Photoresist-Prozesses entstehen. Es verfügt über eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen, um die Sicherheit der Belegschaft zu gewährleisten und die Auswirkungen gefährlicher Dämpfe zu reduzieren. Dazu gehören ein eingebautes Sicherheitsventil, ein Flammenableiter und ein sekundärer Gasschild zur Erfassung und Steuerung der Gefahrgasabgabe. Es enthält auch einen optionalen ionisierenden Filter, um das Risiko des statischen Stromaufbaus zu reduzieren. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und Fähigkeiten ist RHETECH P28SR11S-10001 Photoresist Tool das ideale Werkzeug für die Herstellung von Hochleistungs-Photoresists mit Präzision und Konsistenz. Die Anlage gewährleistet präzise Ergebnisse bei gleichbleibender Produktqualität und ist damit ein ideales Werkzeug für eine Reihe von Branchen, darunter Halbleiter, Optoelektronik und vieles mehr.