Gebraucht SEMITOOL / RHETECH ST-870 #9265367 zu verkaufen

SEMITOOL / RHETECH ST-870
ID: 9265367
Wafergröße: 6"
Spin Rinse Dryers (SRD), 6".
SEMITOOL/RHETECH ST-870 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die es Anwendern ermöglicht, kritische Prozessschritte wie Beschichtung, Entwicklung und Bildgebung von Photoresist-Substraten zu erreichen. Das System ist mit einem Präzisions-Roboterarm ausgestattet, der das Substrat erreicht und durch mehrere sequentielle Schritte im Photolackprozess führt. Das Gerät nutzt Prozessmodus- und Belichtungssteuerungssoftware für präzise Badtemperaturregelung, Fotoprozesszeit und voreingestellte Erfassung von Filmdicken. Darüber hinaus ist die Maschine mit einer Top-Kamera zur Substraterkennung, einem hochauflösenden Monitor und einem hochpräzisen Bildanalysewerkzeug ausgestattet. RHETECH ST-870 unterstützt eine Reihe von Photoresist-Typen, darunter positives und negatives Chrom, ZEP520A, AZ5214E und S1813. Es hat auch Merkmale zur Vorausrichtung des Substrats, zur Steuerung der Anzahl der Belichtungsstufen und zur Steuerung der Zykluszeit des Nassbades. Die Anlage ist mit einer ganzen Reihe von Bildern und automatischen Bildanpassungen ausgestattet, so dass Benutzer hochauflösende Fotoresists mit hoher Genauigkeit produzieren können. SEMITOOL ST-870 ist mit einem elektronisch gesteuerten Spendemodell zur präzisen Abscheidung von Photolack in starre oder flexible Substrate ausgestattet. Diese Abgabevorrichtung ermöglicht eine präzise Schichtung von Photolack auf Substraten, so dass Benutzer komplizierte Muster mit großer Genauigkeit erstellen können. ST-870 bietet ein integriertes Entwicklungssystem, das in der Lage ist, konsistente Photoresist-Ergebnisse zu liefern. Diese Entwicklungseinheit nutzt einen vertikalen Spin-Coat-Ansatz mit einstellbaren Geschwindigkeitseinstellungen für optimale Ergebnisse während des Entwicklungszyklus. Die Maschine ermöglicht bis zu sechs Spülschritte zur vollständigen Entfernung des Photolacks vom Substrat. SEMITOOL/RHETECH ST-870 verfügt auch über eine Reinigungsstation, die entionisierte Wasserreinigung, Reinigung mit Lösungsmittel, Trockenmittel und trockenem Stickstoff umfasst, um den Nachentwicklungsprozess zu optimieren. Die Reinigungsstation ist so konzipiert, dass ein gleichmäßiger und gleichmäßiger Aschevorgang gewährleistet ist. Insgesamt ist RHETECH ST-870 Tool eine sehr vielseitige Photolackplattform mit ausgeklügelten Automatisierungsfunktionen, die es Anwendern ermöglichen, genaue und präzise Ergebnisse bei der Herstellung von Photolacksubstraten zu erzielen. Diese Ressource eignet sich für eine Vielzahl von Anwendern, von der Großserienfertigung bis hin zu kleineren Operationen.
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