Gebraucht SEMITOOL / RHETECH ST-870 #9265370 zu verkaufen

SEMITOOL/RHETECH ST-870 ist eine Photoresist-Ausrüstung für fortgeschrittene Ätz- und Musterprozesse. Das System wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Funktionsgrößen und Seitenverhältnissen anzubieten, und wird verwendet, um nanoskalige Muster für Tausende von verschiedenen elektronischen Komponenten zu erstellen. Die Photolackeinheit umfasst einen Excimerlaser, eine Strahlabtastmaschine, einen Magnetspatel und einen beheizten Ofen. Der Excimer-Laserstrahl dient zur Beleuchtung des Photolackmaterials, das dann vom Strahlabtastwerkzeug strukturiert wird. Der Magnetspatel dient zur Übertragung des strukturierten Materials auf das Substrat, beispielsweise einen Siliziumwafer. Der erhitzte Ofen wird dann verwendet, um den Photolack zu backen, um eine konsistente Oberfläche zu gewährleisten. RHETECH ST-870 bietet eine Vielzahl von Funktionen, um den Anforderungen von Präzisionsätz- und Musterprozessen gerecht zu werden. Es hat eine Wellenlänge von 248nm und ermöglicht eine präzise Lithographie. Das Asset bietet zudem bis zu 40mm Feldgröße für größere Bauteile und ist bei 0,1 Mikrometer Genauigkeit stabilisiert. Das Modell verfügt über eine Durchflussregelung, die je nach Fokuspunkt und Substratgröße auf 0,1-3 m/min eingestellt werden kann. Darüber hinaus verfügt SEMITOOL ST-870 über eine aktive Einfallswinkelregelung, die Schatten und optische Verluste minimieren soll. ST-870 ist eine ausgezeichnete Photoresist-Ausrüstung, die Hochgeschwindigkeits-Lithographie, Präzisionsmuster und erweiterte Ätzung für eine Vielzahl von Komponenten bietet. Es ermöglicht die Erstellung von nanoskaligen Mustern mit genauen Funktionsgrößen und perfekten Seitenverhältnissen. Dieses System arbeitet mit einer Vielzahl von Photoresists zusammen, was es zu einer vielseitigen und zuverlässigen Option für fortgeschrittene Ätz- und Musterprozesse macht.