Gebraucht SEMITOOL / RHETECH ST-870 #9288369 zu verkaufen

SEMITOOL/RHETECH ST-870 Photoresist Equipment ist ein Gerät für die Abscheidung von Photoresist auf Wafern entwickelt, um integrierte Schaltungen zu produzieren. Photoresists sind lichtempfindliche Materialien, die bei der mikroelektronischen Herstellung zur Übertragung von Mustern von einer Photomaske auf die Oberfläche eines Wafers oder Substrats verwendet werden. RHETECH ST-870 ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges System, das präzise Photolithographie-Prozesse für ultrafeine Musterung und kurze Eigenschaften bietet. SEMITOOL ST-870 besteht aus verschiedenen Komponenten, beginnend mit dem Substrate Alignment Robot (SAR) -Modul, das eine hochgenaue Substratausrichtung für genaue Überlagerung und Fokussierung bietet. Sein automatisierter Lader enthält eine spezielle gekühlte Kammer, um den Photolack zu halten und die Partikelerzeugung zu reduzieren. Es ist auch mit einer Onboard-Vision-Einheit ausgestattet, um Fehler an Wafern zu überprüfen, bevor sie geladen werden. Die Maschine enthält auch ein Gas Delivery Module (GDM), die die notwendigen erhitzten oder gekühlten Gase zur Regelung der Temperatur und Druck in der Abscheidekammer zur Verfügung stellt. Die nächste Komponente ist das Abscheidemodul, das aus einer Vakuumabscheidungsquelle und einer Dual-Bake-Technologie besteht, die eine gleichmäßige und schnelle Erwärmung und Kühlung von Wafern ermöglicht. Das Werkzeug ist ferner mit einem Sprühkopf ausgestattet, der in der Lage ist, eine Vielzahl von Sprühwinkeln und Betriebsdrücken zu erzielen, was eine stärkere Kontrolle über das Sprühmuster des Fotoresistes ermöglicht. Es verwendet auch einen dielektrischen Bubbler mit geringem Durchfluss, der eine gleichmäßige Abdeckung für Geräte mit hohen Seitenverhältnissen gewährleistet. Schließlich wird der Photolack mit einer Hochleistungs-Puls-UV-TLD-Lichtquelle aufgebracht. Es bietet eine hohe Flexibilität, damit Anwender anspruchsvolle Abmessungen und enge Geometrien erfüllen können. Die Lichtquelle ist außerdem mit einem Winkelschloss ausgestattet, um eine präzise Strukturierung und Ausrichtung auf die Fotomaske zu gewährleisten. Die Anlage kann mit verschiedenen Arten von Wafern wie Standard 8-12 Zoll, 300mm und 450mm verwendet werden. Insgesamt ist ST-870 ein leistungsstarkes und zuverlässiges Photolackmodell, das hohe Genauigkeit und Präzision für die Herstellung komplizierter mikroelektronischer Geräte bietet. Der automatisierte Lader und der dielektrische Blasen sorgen für eine glatte und gleichmäßige Beschichtung des Photolacks. Seine Hochleistungslichtquelle ermöglicht eine präzise Strukturierung und Ausrichtung und seine Temperaturen und Gasfördermodule ermöglichen eine gleichmäßige Erwärmung und Kühlung von Wafern. SEMITOOL/RHETECH ST-870 ist eine gute Wahl für gezielte und präzise mikroelektronische Schaltungsherstellung.