Gebraucht SEMITOOL / RHETECH WST-306AC #9265377 zu verkaufen

SEMITOOL/RHETECH WST-306AC ist eine Photolackausrüstung für die Wafersubstratverarbeitung. Dieses System ist ideal für Halbleiterverarbeitung wie ICs und MEMS-Anwendungen, Es enthält eine Reihe von „intelligenten“ Funktionen für verbesserten Durchsatz und Genauigkeit. Für die Waferbearbeitung verwendet RHETECH WST-306AC eine proprietäre „mikroverarbeitete“ Poolheizung, die eine einheitlichere und präzisere Temperaturregelung bietet. Darüber hinaus verfügt dieses Gerät über ein SubRack™ Design, das es ermöglicht, bis zu drei kleinere Module einzufügen. Dieser modulare Aufbau ermöglicht es dem Anwender, die Maschine an ihre spezifischen Bedürfnisse anzupassen. Neben der Poolheizung kann das Werkzeug mit Chemikalienlieferung, Abfallentsorgung und Backofenmodulen ausgestattet werden, was eine eindeutige Einsatzstelle oder Chargenoperationen ermöglicht. SEMITOOL WST-306AC Photoresist Asset wurde mit „intelligenter“ Technologie entwickelt und entwickelt, um die Verarbeitungsgenauigkeit und den Durchsatz zu verbessern. Beispielsweise ist der Prozessregler mit einem „Wafer Flow“ -Merkmal ausgestattet, das es dem Modell ermöglicht, den Substratverlauf während des gesamten Prozesses zu verfolgen. Dieses Merkmal ermöglicht die automatische Überprüfung von Waferparametern an vorbestimmten Stellen während der gesamten Prozessdauer. Weitere intelligente Funktionen sind Prozessrezept-Steuerung, schnellere Zykluszeit und Rezept-Tracking. Mit Pulsrückwärts kann das Gerät Photolackvormischung, Spülung, Backtemperatur und Backzeitparameter genau steuern. Diese Pulsrückwärtstechnologie ist mikrosekundengenau steuerbar und in hohem Maße wiederholbar. WST-306AC verfügt auch über einen Photoresist-Aschevorgang, der den Trümmeraufbau verringern kann. Das System ist mit redundanten Sicherheitsfunktionen ausgestattet, die Übertemperaturschutz, Übersteuerungsschutz und thermische Abschaltungen umfassen. Diese Funktionen schützen vor Fehlbedienung und/oder Fehlbedienung. Insgesamt ist SEMITOOL/RHETECH WST-306AC Photoresist Unit ein ideales Werkzeug für die Halbleiterwaferbearbeitung. Seine Eigenschaften, wie die „intelligente“ Technologie, Pulsrückwärts und SubRack™ Design, ermöglichen eine effiziente und kontrollierte Verarbeitung mit minimaler Abfall- und Ausfallzeit.