Gebraucht SEMITOOL SAT 111 (25 08) 0U #293628381 zu verkaufen

SEMITOOL SAT 111 (25 08) 0U ist eine vollautomatische Photolackausrüstung für die Reinigung und Beschichtung von Wafern. Dieses System eignet sich sowohl für die Serien- als auch für die Prototypenfertigung. Es bietet eine enge Integration von Substrathandhabungs-, Ätz- und Nachbeschichtungsverfahren für eine umfassende Lösung für Resistbeschichtungsprozesse. Der SAT 111 nutzt fortschrittliche Computersteuerungssysteme für die Erfassung und Handhabung von Wafern, Kantensteuerung, Rezeptverwaltung und Hauptsteuerung. Zu den Hauptmerkmalen gehören eine Autofokuseinheit für konsistente Bildqualität, ein einziges thermisiertes Roll-to-Roll-Verfahren, das Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm handhaben kann, sowie fortschrittliche Backsteuerungs- und Temperaturüberwachungssysteme. Die Resistchemie wurde entwickelt, um eine gleichmäßige Resistabdeckung über einen weiten Wafergrößenbereich bereitzustellen. Die automatisierte Wafer-Handling-Maschine sorgt für zuverlässigen Substrattransport. Die Kantensteuerung des Werkzeugs sorgt für eine gleichmäßige Kantenbelichtung für eine verbesserte Kantendosiergenauigkeit. Die fortschrittliche Rezeptverwaltung ermöglicht es Benutzern, schnell ein Rezept für jeden Wafergrößenbereich auszuwählen. Das Backsteuerungsmodell wurde entwickelt, um genaue thermische Profile für verbesserte Leistung und Qualität bereitzustellen. Die SAT 111 verfügt zudem über eine spezielle Kantenabsaugung. Dieses System eliminiert die manuelle Handhabung und bietet genaue Kanteninspektionsleistung. Das Gerät verfügt zudem über eine Hochlaufschutzmaschine, die Schäden an ungeschützten Substraten verhindert. Neben den automatisierten Funktionen bietet die SAT 111 eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen. Es wurde gebaut, um strenge Sicherheitsstandards zu erfüllen, einschließlich Stoßschutz und Überstromüberwachungen. Das Tool bietet auch erweiterte Überwachungsoptionen, einschließlich Temperaturerfassung und Frequenzüberwachung. Es bietet auch eine intuitive Benutzeroberfläche, die Benutzer durch den gesamten Prozess führt. SEMITOOL SAT 111 (25 08) 0U ist eine leistungsfähige und zuverlässige Photoresist-Anlage, die den anspruchsvollen Anforderungen der Waferreinigung und Beschichtung gerecht wird. Mit automatisiertem Wafer-Handling, fortschrittlichem Rezeptmanagement und Backsteuerungen sowie hohen Sicherheitsstandards bietet die SAT 111 eine umfassende Lösung für Photoresist-Beschichtungsprozesse und ist damit ideal für die Produktion von Großserien und Prototypen.