Gebraucht SEMITOOL SAT 2080S #9134041 zu verkaufen

SEMITOOL SAT 2080S Photoresist Equipment ist ein Nassätzsystem im Submikron-Maßstab, das Hersteller dabei unterstützen soll, Halbleiterbauelemente präzise zu ätzen. Das Gerät wird automatisch über eine Softwareschnittstelle gesteuert, die Ätzprozesse einfach und präzise macht. Die Maschine besteht aus einem zentralen Bedienfeld, zwei Photolackinjektoren und einem Substrathalter zur Ausrichtung der Wafer. Darüber hinaus ist es mit einer einzigen Gasleitung mit mehreren Düsen zur Bereitstellung von Reaktivgas in die Ätzkammer sowie präzisen Druck- und Strömungssteuermodulen ausgestattet. Die Photoresist-Injektoren werden verwendet, um eine präzise Menge Photoresist direkt auf den Wafer in einem optimalen Muster abzugeben, das sich an der Größe und Form des Gerätes orientiert. Nach dem Aufbringen des Photolacks wird dieser dann einer Lichtquelle ausgesetzt, die zur Aktivierung des Photolacks in bestimmten Bereichen dient. Der unbelichtete Fotolack wird dann weggeätzt, wobei ein Muster zurückbleibt, das der verwendeten Lichtquelle entspricht. Die Wafer werden dann auf den Substrathalter aufgesetzt, wo eine einstellbare Höhe vorhanden ist, um eine präzise Druckbeaufschlagung der Wafer zu gewährleisten. Die einstellbare Höhe und die Druckregelung sorgen für optimierte Ätzprozesse mit geringer physikalischer Beanspruchung der Substrate. Zusätzlich können vor dem Ätzvorgang Reinigungs- und Antireflexbeschichtungen auf die Substrate aufgebracht werden, um optimale Oberflächenbedingungen zu gewährleisten und Verzug zu reduzieren. Die Gasleitung ist mit dem gesamten Werkzeug verbunden, um der Ätzkammer reaktive Gase zuzuführen. Dieses Gasrohr sorgt für eine gleichmäßige und zuverlässige Strömungsverteilung und gleichmäßige Exposition gegenüber der Ätzkammer. Darüber hinaus umfasst die Anlage Druck- und Durchflussregelungsmodule, die helfen, den Fluss reaktiver Gase in die Kammer genau zu steuern, um sicherzustellen, dass der gesamte Ätzprozess präzise und präzise ist. Schließlich ermöglicht das zentrale Bedienfeld die Überwachung und Steuerung des gesamten Modells. Dieses Panel ist mit einer schnellen Anlaufsequenz sowie Status-, Diagnose- und Diagnosehistorienlesungen ausgestattet. Die grafische Benutzeroberfläche auf dem Panel macht die Einrichtung und Wartung der Geräte einfach und effizient für den Bediener. SAT 2080S Photoresist System ist ein leistungsstarkes Werkzeug zum Ätzen von Halbleiterbauelementen mit Raffinesse und Genauigkeit. Mit seinen integrierten Komponenten und Steuerungen ist dieses Gerät eine ideale Lösung für Hersteller auf der ganzen Welt.