Gebraucht SEMITOOL SAT 2080S #9210337 zu verkaufen
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SEMITOOL SAT 2080S Photoresist Equipment ist ein Hochleistungs-Lithographiesystem mit hoher Kapazität, das in der Halbleiterindustrie weit verbreitet ist. Das Gerät bietet maximale Erträge und ermöglicht wiederholbare Prozessabläufe, indem es die anspruchsvollsten Spezifikationen und Anforderungen erfüllt. Diese Maschine verwendet die modernste Zwei-Wellenlängen-Abtastung und Stief-Und-Mehrmaligaussetzungsfähigkeiten, den Bedarf an den höchsten durch fortgeschrittene und zukünftige Transistortechnologien geforderten Beschlussniveaus zu richten. Das Tool basiert auf zwei-Wellenlängen SpectraBroadbandâ „“ mit einer Fast-Infrarot (NIR) Wellenlänge von 775nm, ermöglicht kleinere Strukturen und höhere Auflösung. Das Asset verfügt außerdem über ein einzigartiges AET-Konzept (Auto-Exposure Tunnel), das den Belichtungszyklus automatisiert und einen höheren Durchsatz, höhere Erträge und eine verbesserte Qualitätskontrolle liefert. Das Modell ist zudem mit integrierten Prozessüberwachungsfunktionen wie vollständiger messtechnischer Rückmeldung, Wafer-Prozessdiagnose und -steuerung sowie Rezepturfehlercharakterisierung ausgestattet. Dies ermöglicht ein verbessertes Prozessverständnis, Wafer-Level-Fehlererkennung und Vorhersage von musterbezogenen Fehlern. Das Gerät bietet zudem Flexibilität für mehrere Prozesse und Produkte mit einem optionalen Zweikammer-Ätzmodul sowie externen Kammern für die Vor- und Nachätzbearbeitung. Darüber hinaus ist es mit dem NexBar® Barcode-Reader erhältlich, der den Kassettenverwaltungsprozess automatisiert und für Genauigkeit sorgt. SAT 2080S Photoresist System ist ein erstklassiges Werkzeug, das sich ideal für Forschung und Produktion eignet. Es nutzt fortschrittliche Optik-, Automatisierungs-, Prozessüberwachungs- und Renditeverbesserungsstrategien, um höhere Erträge und wiederholbare Prozessabläufe zu erzielen. Seine Fähigkeit, die anspruchsvollsten Spezifikationen zu erfüllen, stellt sicher, dass dieses Gerät noch viele Jahre eine branchenführende Lösung bleibt.
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