Gebraucht SEMITOOL SAT #293671300 zu verkaufen

SEMITOOL SAT ist eine Photoresist-Ausrüstung, die für die Verarbeitung von Hochpräzisions-Lithographie entwickelt wurde. Es wird zum Herstellen kleiner Schaltungen oder komplizierter Muster auf Halbleiterscheiben für die Herstellung komplexer mikroelektronischer Bauelemente verwendet. Das System besteht aus einem Lichtschrittmacher, der mit Anregungsquellen variabler Wellenlänge zur Belichtung der Photolackschicht auf den Wafern sowie zur anschließenden Entwicklung ausgestattet ist. Die SAT-Einheit ist mit hochauflösenden Projektionsobjektiven sowie einem automatisierten Probenbeladungs- und Ausrichtungsführungsmechanismus ausgestattet, der einen hohen Durchsatz an Prozessabläufen ermöglicht, die Muster höchster Genauigkeit gewährleisten. Die Maschine ist in der Lage, verschiedene Photolackprozesse wie positive und negative Photolackabscheidung, Suszeptor-Vorbacken, Lichtbelichtung und Lichtintensität der Belichtung, Musterinspektion, Fokuseinstellung, Entwicklung, Nachbacken, Inspektion und Musterhöhenmessung zu bewirken. SEMITOOL SAT-Werkzeug ist in der Lage, Photolackschichten zu belichten, die eine breite Palette von komplexen Formen umfassen, von einfachen Kreisen bis hin zu sehr komplizierten geometrischen Mustern. Dies liegt daran, dass die automatische Musterplatzierung des Assets in der Lage ist, diese Muster genau auf den Wafer zu platzieren. Das Modell verwendet dann mehrere Beleuchtungswinkel, um eine optimierte Abdeckung der Photolackschicht zu gewährleisten. Hochauflösende Bildgebung wird auch durch die Optik des Geräts zur Verfügung gestellt, die die Platzierungsgenauigkeit des Musters weiter unterstützt. Darüber hinaus verfügt SAT über eine umfassende Reihe von Messtechnologien auf Wafer-Ebene und ermöglicht es Benutzern, die bildgebenden Funktionen anzupassen, so dass sie die Freiheit haben, die Mustergröße, Ausrichtungsparameter und andere Variablen auszuwählen, die für ihre spezifischen Herstellungsanforderungen erforderlich sind. Darüber hinaus ermöglicht SEMITOOL SAT auch eine präzise Temperaturregelung, um die Chancen auf unvollkommene Ergebnisse zu reduzieren; dies hilft auch bei der Verringerung der Wahrscheinlichkeit von Bauteilschäden. SAT bietet verschiedene andere Funktionen, um die Zuverlässigkeit und Genauigkeit der Musterergebnisse zu verbessern. Dazu gehören eine hochauflösende Kamera zur Sicherstellung von Fokus und Ausrichtung, einstellbare Laserquellen für eine variable Beleuchtung und ein hochgenaues optisches System zur Maximierung der Belichtungsgleichförmigkeit. Darüber hinaus ist das Gerät aufgrund seiner intuitiven, benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche sehr einfach zu bedienen und ermöglicht eine schnelle Einrichtung von Prozessrezepten. Insgesamt bietet die SEMITOOL SAT-Maschine eine hochleistungsfähige, genaue und zuverlässige Wafer-Musterlösung für die Herstellung von verbesserten Halbleiterbauelementen. Seine breite Palette an Prozessfähigkeiten, einstellbare Beleuchtungseinstellungen und hochauflösende Bildgebung machen es zu einer großen Bereicherung für jede Produktionslinie.