Gebraucht SEMITOOL SAT #9300421 zu verkaufen

SEMITOOL SAT ist eine Photolackbeschichtungsanlage für den Einsatz in der Halbleiterindustrie. Das System besteht aus zwei Komponenten: SAT Unit und SMP Unit. SEMITOOL SAT Unit ist der Hauptkörper der Einheit und verantwortlich für die Anwendung und Entfernung von Photolackmaterial. Diese Einheit besteht aus zwei Teilen: einem Hauptkörper und einem Versorgungsarm. Der Hauptkörper enthält die Komponenten, die zum Aufbringen und Entfernen von Fotolack erforderlich sind, wie eine Spritzpistole, Temperatur- und Drucksensoren und ein Luftmodul. Der Versorgungsarm enthält das Photolackmaterial, das in zwei Hauptlagertanks enthalten ist. Das Photolackmaterial wird mit einer Spinndüse und einem Dünnschichtkopf dem Wafer zugeführt. Die zweite Komponente der Maschine ist die SMP-Einheit, die bei der Verwaltung des Photolackmaterials während der Beschichtung unterstützt. Diese Einheit besteht aus vier Teilen: einem 8-stufigen Flüssigkeitsspeicher, einem Materialvorwärmer, einem Saug- und Druckbeaufschlagungsmodul und einer Rezirkulationspumpe. Der 8-stufige Tank hilft bei der Verwaltung des Photolackmaterials und kann zur Speicherung von bis zu acht verschiedenen Arten von Photolackmaterial verwendet werden. Der Materialvorwärmer wird verwendet, um die Temperatur des Photolackmaterials zu erhöhen, um eine ordnungsgemäße Haftung und Aushärtung des Photolackmaterials auf dem Wafer während der Beschichtung zu gewährleisten. Das Saug- und Druckbeaufschlagungsmodul sorgt für die Absaugung und Druckbeaufschlagung des Photolackmaterials innerhalb des Vorratsbehälters, wodurch der korrekte Beschichtungsdruck gewährleistet ist. Schließlich hilft die Umwälzpumpe, das Photolackmaterial in den Vorratsbehältern auf der gewünschten Temperatur und Konzentration zu halten. Insgesamt ist SAT ein leistungsfähiges und effizientes Photolack-Beschichtungswerkzeug, das speziell für den Einsatz in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Die Kombination aus SEMITOOL SAT Unit und SMP Unit ermöglicht es dem Asset, Photolackmaterial genau und konsistent auf den Wafer aufzubringen, was zu qualitativ hochwertigeren Ergebnissen führt. Darüber hinaus ist das Modell zuverlässig und einfach zu bedienen, so dass es eine ideale Wahl für hochvolumige Halbleiterproduktionsumgebungen ist.