Gebraucht SEMITOOL SAT1080SOA1PCAU #9120981 zu verkaufen

SEMITOOL SAT1080SOA1PCAU ist eine vollautomatische Spinn- und Sprühbeschichtungsanlage, die die Anforderungen fortschrittlicher lithographischer Prozesse erfüllt. Das System bietet eine präzise automatische Steuerung der Drehgeschwindigkeit, Stagnationszeit, Sprühzeit, Sprühvolumen und Substrattemperatur, um eine optimale Materialausnutzung und überlegene Substratleistung zu gewährleisten. Das Gerät ist in der Lage, eine Vielzahl von Photoresists für die Beschichtung auf Substraten im Bereich von 4 bis 12 Zoll im Durchmesser genau zu messen. Ein dynamisches Vakuumverfahren gekoppelt mit einer 360-drehenden Stufe ermöglicht es Substraten, während des Sprühens perfekt stationär zu bleiben. Die Maschine ist mit einer automatischen Reinigungsfunktion ausgestattet, um sicherzustellen, dass zwischen den Zyklen keine Rückstände auf dem Substrat verbleiben. Das Werkzeug verfügt über einen proprietären Wechselstrom-Synchronmotor mit variabler Drehzahl. Der Motor wird durch eine digitale Steuerung mit variablen Einstellungen gesteuert, die es Benutzern ermöglicht, jede Drehzahl von 500 bis 4500 U/min sowie eine variable Drehzeit von 1 bis 4 Sekunden einzustellen. Auf diese Weise können Benutzer die Drehgeschwindigkeit und die Menge des auf das Substrat aufgebrachten Resists genau steuern. Der eingebaute Sprühmechanismus kann eine Vielzahl von Photoresists bis zu 6 Milliliter (ml) pro Minute liefern, so dass er den hohen Durchsatz erreicht, der für fortschrittliche lithographische Prozesse erforderlich ist. Darüber hinaus verfügt die Anlage über eine einzigartige Temperaturregelfunktion, die eine gleichmäßige Erwärmung des Substrats während des Spritzvorgangs ermöglicht. Dadurch werden Temperaturunterschiede eliminiert, die Materialinkonsistenz verursachen können, sowie Prozesstemperaturen zu hoch angehoben. Das Modell wird mit einem umfassenden Softwarepaket geliefert, mit dem Benutzer Einstellungen wie Sprühzyklusrate, Drehgeschwindigkeit, Sprühzeit, Sprühvolumen und Substrattemperatur anpassen können. Diese Einstellungen können in einer Datei gespeichert und bei Bedarf abgerufen werden. Das Gerät enthält auch eine grafische Anzeige, die den Prozessstatus anzeigt und Fehlercodes für die Wartung enthält. Für überlegene Leistung ist SAT1080SOA1PCAU eine gute Wahl für Lithographielabore, die eine präzise und zuverlässige Photoresist-Spinn- und Sprühbeschichtung benötigen. Das System bietet ein robustes Feature-Set, eine ausgezeichnete Präzision und eine einfache Bedienung, so dass Benutzer ihre Prozesse für einzigartige Anforderungen optimieren und eine optimale Materialverwendung und überlegene Substratleistung gewährleisten können.