Gebraucht SEMITOOL SDC-400 #68685 zu verkaufen

ID: 68685
Photomask etch spinner.
SEMITOOL SDC-400 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die in der Halbleiterherstellung verwendet wird, um ICs auf Wafern zu mustern. Im Wesentlichen ist es eine Reihe von integrierten Modulen, die Photolack verteilen, verarbeiten und inspizieren können, so dass ein nahtloser Prozessfluss mit hohem Durchsatz und sehr hohen Ausbeuten möglich ist. Das System wurde entwickelt, um mit einer Reihe von Photoresists und Substratmaterialien zu arbeiten, wodurch Benutzer die Flexibilität erhalten, ihre Prozessparameter an ihre gewünschten Ergebnisse anzupassen. SDC-400 nutzt innovative modulare Board-Technologie, die effiziente Prozessabläufe und schnellere Umschaltungen beim Umschalten zwischen verschiedenen Prozessen ermöglicht. Diese Technologie ermöglicht es, mehrere Prozesse gleichzeitig durchzuführen, die Zykluszeit drastisch zu reduzieren und den Ertrag zu verbessern. Die Einheit umfasst ein Wafer-Handhabungsmodul, das Wafer von einer Ladestation aufnimmt, in die Bearbeitungsstufe überführt und anschließend in einen Behälter zum Entladen ablagert. Dies ermöglicht einen schnellen und effizienten Transfer zwischen Prozessen. Die Maschine enthält auch ein Infrarot-Vorbackmodul, das sorgfältig kalibrierte Temperaturen und Zeit verwendet, um die optimale Spin-Beschichtung der Photoresists zu gewährleisten. Danach folgt die Hauptphotoresistkammer, die aus ultravioletten Lampen und einer Trocknungszone besteht, die die belichteten Photoresists auf den Wafer aufblitzen lassen. Hier erfolgt die Strukturierung der ICs. Schließlich führt ein Nachbackmodul eine Nachbackfolge aus, um eventuell verbleibende Fotolacke zu entfernen, wonach die Wafer entladen und inspektionsbereit sind. Ein Vision Defect Mapping Tool ist ebenfalls im Asset enthalten, um sicherzustellen, dass die höchste Qualitätskontrolle aufrechterhalten wird. Das Modell verwendet proprietäre Algorithmen, um Fehler zu identifizieren, zu quantifizieren und abzubilden, sodass nur Wafer höchster Qualität in die Hände des Kunden gelangen. Abschließend ist SEMITOOL SDC-400 eine fortschrittliche Photoresist-Ausrüstung, die die neuesten Techniken bei der Strukturierung und Fehleranalyse verwendet und somit ideal für Halbleiterherstellungsanwendungen geeignet ist. Sein hoher Durchsatz, sein flexibles Design und seine Fähigkeit, Mängel genau zu überprüfen, machen es zu einer guten Wahl für jede Produktionslinie.
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