Gebraucht SEMITOOL Sirius #293622591 zu verkaufen
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ID: 293622591
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2008
System, 12"
Rotor, 8"
Stainless steel 316
Process: Spray ozone
Ammonia process modules
ASTEX AX8400 Ozone generator system
BMT 930 Ozone monitor
Ammonia tank
Mix control
Standard pneumatic panel
DI Panel
O2 Panel
NH4OH Panel
Motor
Control
TREBOR Quantum 30 Hot DI system
Voltage: 380 VAC, 45 Amp
Power supply: 50/60 Hz, 208 VAC
Full load current: 45 AMP
Largest motor or load :20 Amp
2008 vintage.
SEMITOOL Sirius ist eine vollautomatische Photolackausrüstung, die von SEMITOOL hergestellt wird. Es wurde für fortschrittliche photolithographische Anwendungen in der Halbleiterindustrie entwickelt. Das System bietet leistungsstarke Funktionen wie laseraktiviertes Scannen und berührungsloses Resistband, automatisierte Wafer-Handhabung und -Verarbeitung sowie eine einfache Benutzeroberfläche. Sirius-Einheit ist entworfen, um die höchste Ebene der Waferoberflächenvorverarbeitung zu erreichen. Es ermöglicht die genaue Abscheidung von Photolack auf eine Substratoberfläche und hält die für die Mikrolithographie geeignete Oberflächengleichförmigkeit aufrecht. Die Maschine besteht aus einer einzigen Kammer, einem Prozessorkopf und einer Gleichstromquelle. Der Bearbeitungskopf ist mit einem Dyejet ausgestattet, das vor der Abscheidung Photolack auf die Waferoberfläche liefert. Das Dyejet-Werkzeug ist auf einem Manipulator montiert und so programmiert, dass die Oberfläche des Wafers nach einem programmierten Befehlssatz gemustert wird. SEMITOOL Sirius verfügt über eine integrierte automatische Richttechnologie, um die Genauigkeit und Zuverlässigkeit des Mikrolithographie-Prozesses zu gewährleisten. Es verwendet eine lasergeführte Abtasteinrichtung, die den Winkel und die Ausrichtung des Abtastkopfes in Bezug auf die Waferoberfläche genau einstellt. Sirius bietet auch eine kontaktlose Resiststreifen-Funktion, die eine wesentlich bessere Kontrolle des Bandprozesses ermöglicht und die manuelle Handhabung überflüssig macht. SEMITOOL Sirius Modell verfügt über eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI) und ist voll kompatibel mit Standard-Softwarepaketen. Es ist modular aufgebaut und kann bei Bedarf mit zusätzlichen Funktionen und Teilen aufgerüstet werden. Das Gerät verfügt über Selbsttestfunktionen und ein Diagnosesystem, um eine zuverlässige Fotolackierung zu gewährleisten. Sirius-Einheit ist ideal für fortschrittliche Photolithographie-Anwendungen mit hoher Auflösung und Prozessgenauigkeit und Wiederholbarkeit. Die Maschine ist zuverlässig, effizient und kostengünstig und somit eine gute Wahl für Anwendungen in der Halbleiterindustrie.
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