Gebraucht SEMITOOL Sirius #293671304 zu verkaufen

SEMITOOL Sirius ist eine Photoresist-Ausrüstung, die für kritische Photolithographieverfahren zur Herstellung modernster mikroelektronischer Komponenten entwickelt wurde. Das System verfügt über eine Prozess-Suite mit einer Auto Expose (AE), Auto Develop (AD) -Station und einer Photoresist Strip (PS) -Station, alle integralen Komponenten bei der Herstellung anspruchsvoller mikroelektronischer Komponenten. Die AE-Station spielt eine Schlüsselrolle im Photolithographieverfahren, wo eine Beschichtung aus Photolack (Harz) auf einen Siliziumwafer oder ein anderes Materialsubstrat aufgebracht und dann sichtbarem Licht ausgesetzt wird. Die AE-Station wurde entwickelt, um den Fotolack mit intensiven, gleichmäßigen Beleuchtungsstufen mit minimaler Verzerrung und Wafer mager genau zu belichten. Die AD-Station entwickelt dann automatisch den belichteten Photolack, entfernt die bestrahlten Komponenten und ätzt das Schaltungsmuster auf das Substrat. Im Gegensatz zur manuellen Verarbeitung ist die AD-Station so konzipiert, dass sie sehr präzise Ergebnisse mit erhöhter Sicherheit und Effizienz liefert. Schließlich streift die PS-Station den verbleibenden Photolack vom Substrat ab, so daß das geätzte Schaltungsmuster verbleibt. Dieser Schritt sorgt für ein glattes Finish und befreit das Substrat für die Weiterverarbeitung. Sirius wurde entwickelt, um die Produktionseffizienz mit schnellen Zykluszeiten zu steigern und gleichzeitig Kosteneinsparungen zu optimieren. Es vereinfacht auch die Bedienung der Einheit durch intuitive Bedienelemente und eine automatisierte Bedienmaschine. Zur weiteren Anpassung können Anwender Software von Drittanbietern in das Tool für eine maßgeschneiderte Photolithographielösung integrieren. Um die Gleichmäßigkeit und Qualität der Ergebnisse während des Photolithographie-Prozesses zu gewährleisten, ist SEMITOOL Sirius mit einer Reihe fortschrittlicher Funktionen ausgestattet. Dazu gehören ein Autofokus-Merkmal zur Erkennung und Kompensation von Substratoberflächenunregelmäßigkeiten, ein Auto-Kalibrierwerkzeug zur Optimierung von Bildergebnissen und eine Reihe weiterer häufig verwendeter Funktionen zur Rationalisierung der Verarbeitung von Photoresists. Für zusätzliche Sicherheit enthält die Anlage auch eine Not-Aus-Funktion, die verwendet werden kann, um das Modell schnell zu stoppen und mögliche Gefahren durch Bedienungsfehler zu reduzieren. Sirius ist eine ideale Wahl für Hersteller, die für ihre Produktionsprozesse modernste und genaueste Photolithographie-Werkzeuge benötigen. Mit seinen robusten Konstruktions- und Automatisierungsfunktionen ist eine genaue und gleichmäßige Verarbeitung bei minimalen Ausfallzeiten erreichbar.