Gebraucht SEMITOOL Sirius #293671310 zu verkaufen

SEMITOOL Sirius Photoresist Processing Equipment ist eine zuverlässige und effiziente Plattform zur Optimierung der Photolackverarbeitung für die Herstellung von mikroelektronischen Geräten. Sirius verfügt über ein einzigartiges und innovatives Design, das patentierte Technologien verwendet, um mit jedem Zyklus präzise Verarbeitungsergebnisse zu liefern. Diese eigenständige oder integrierte modulare Plattform umfasst eine effiziente integrierte Plattform mit zwei unabhängigen Gleismodulen, Modulen mit offenem Rahmen, die eine Vielzahl von Prozessgefäßen aufnehmen, und eine Vielzahl unabhängiger Prozessmodule. SEMITOOL Sirius Platform verfügt über zwei Hauptmodule, das Entwicklermodul und das Stripper-Modul. Das Entwicklermodul besteht aus Prozessen wie Spin Coating belichteter Photolackschicht, Entwicklung von Photolack und Vorpulsbelichtung. Das Stripper Modul besteht aus Prozessen wie Nassstrippen, Trockenstrippen und Aschen. Die Module verfügen sowohl über manuelle als auch automatisierte Prozesssteuerungssysteme, mit denen Bediener Prozessparameter überwachen und Berichte erstellen können. Die Module sind auch mit Sicherheitsfunktionen ausgestattet, die vor den Gefahren der chemischen Exposition schützen. Sirius Photoresist Processing System bietet hochpräzise Prozessergebnisse und überlegene Genauigkeit. Das Gerät ist mit einem Doppeldach-Design gebaut, das die Partikelverschmutzung minimiert und einen Wärmeaustausch innerhalb der Prozesskammer verhindert. Die Prozesstemperatur kann zwischen 20-70 ° C eingestellt werden und die Maschine ist in der Lage, den Prozessdruck auf +/- 0,5 bar genau zu steuern. SEMITOOL Sirius ermöglicht auch die Anpassung des Prozessrezepts, um optimale Ergebnisse unabhängig vom Schichtmaterial und der Anwendung zu gewährleisten. Das Tool ermöglicht auch die Integration verschiedener Nachbearbeitungstechnologien wie Aschen, Ätzen, Plasmabelastung und Entfernung nach der Entwicklung. Sirius wurde entwickelt, um sowohl Prozesseffizienz als auch Qualitätssicherung in der Photolackverarbeitung zu gewährleisten. Das Dual-Dach-Design, die integrierte Sicherheitsfunktion, die Rezeptanpassungsfähigkeit und die Manipulation von Prozessparametern machen das Asset zu einer zuverlässigen und kostengünstigen Plattform für die Photolackverarbeitung.