Gebraucht SEMITOOL Spectrum #9124180 zu verkaufen

SEMITOOL Spectrum ist eine Ausrüstung für die Photolackverarbeitung von Halbleiter- und integrierten Schaltungsprodukten. Das System wurde entwickelt, um die Lücke zwischen der Leistung und den Kosten von Nassbanksystemen und internen, dedizierten Photoresist-Prozessoren zu schließen. Das Gerät bietet eine breite Palette von Funktionen und Funktionen, die es für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet machen. Spektrum umfasst einen zweistufigen Chargenofen und zwei maßgeschneiderte Pulvermodule, mit zusätzlichen Funktionen wie einem Varistor, einem kohlenwasserstofffreien Tunnel und einem zusätzlichen 5cm für erhöhte Genauigkeit und Durchsatz. Die Maschine hat einen Tieftemperaturbereich von 39-600 ° C, eine kontrollierte Stickstoffatmosphäre und kann bis zu 20 Wafer pro Chargenofen aufnehmen. Das Tool bietet eine Auswahl an programmierbaren Optionen, sodass Kunden das Asset individuell anpassen können. Dazu gehören ein Lösungsprofil, Einstellungen pro Folge, in situ elektrische Feldabstimmung, Diffusionssteuerung und nichtflüchtiger Speicher. Das Modell ist für eine hochpräzise, hochtemperaturstabile Beschichtung ausgelegt. Es bietet eine Genauigkeit von 0,5 µm, mit 0,02 µm Schrittgrößenauflösung und dynamischen Auflösungseinstellungen, um eine genaue Prozesskontrolle zu ermöglichen. Darüber hinaus hat das Gerät eine Gleichmäßigkeit der Temperatur von weniger als ± 0,3 ° C über den Wafer und die Kammer. Die Funktionen von SEMITOOL Spectrum profitieren auch von den fortschrittlichen Diagnose- und Wartungsfunktionen, die Prozess- und Kammerdiagnosen sowie eine vorausschauende Wartung beinhalten, die Ausfallzeiten minimieren. Das System wurde auch unter Berücksichtigung der Sicherheit konzipiert. Es verfügt über eingebaute Verriegelungen, die Bediener vor Verletzungen durch Gefahrstoffe sowie Druck- und Vakuumentlastungssysteme schützen. Darüber hinaus unterstützt die Dokumentationsbibliothek des Geräts Bediener bei der Diagnose von Problemen. Spektrum ist eine zuverlässige und effiziente Maschine zur Verarbeitung von Photolack für Halbleiter- und integrierte Schaltungsprodukte. Seine Eigenschaften machen es zu einer großen kostengünstigen Wahl für seine Benutzer.