Gebraucht SEMITOOL Spectrum #9232917 zu verkaufen

SEMITOOL Spectrum ist eine Photoresist-Ausrüstung, die es Anwendern ermöglicht, verschiedene Fotoresist-Materialien schnell und präzise zu strukturieren. Es besteht aus einer Vielzahl von Komponenten mit jeweils unterschiedlichen Funktionen, die die effiziente Batch-Verarbeitung von Wafern ermöglichen. Spectrum rühmt sich, dass ein volles Gefolge von Eigenschaften, einschließlich eines größeren Prozessraums für den vergrößerten Durchfluss und die Gasstreuung, eine verbesserte niedrige Temperatur Vereinbarkeit für das höhere Qualitätsmustern und erhöhter Kontrolle sowohl der Entwicklung als auch Ablagerungsgleichförmigkeit photowidersteht. Der Prozess beginnt mit einem Vorbehandlungsmodul; hier werden die Wafer gereinigt und vorbehandelt. Anschließend werden sie mit Photolack beschichtet. Als nächstes fahren sie zum Belichtungsmodul. Dabei werden die Wafer einer programmierten, strukturierten Lichtquelle ausgesetzt. Nach der Belichtung werden die Wafer auf das Entwicklermodul übertragen. Hier wird der belichtete Photoresist chemisch entwickelt, wodurch sich lichtreaktive Chemikalien je nach Art härten oder lösen können. Nach Entwicklung des Photolacks werden die Wafer auf das Plasmaätzmodul übertragen. Mit einem Plasma verdampft das Ätzmodul Material von der Waferoberfläche ab. Dadurch ergibt sich eine strukturierte Photolackschicht. Schließlich enthält das Modul ein Trockenätzmodul, das eine Kombination aus Gas, ionisierten Partikeln und elektrischer Spannung verwendet, um unerwünschte Photoresistreste zu entfernen. SEMITOOL Spectrum ist in der Lage, verschiedene Arten und Abmessungen von Substraten und Photomaskenmaterialien aufzunehmen. Das System ist mit der ultrapräzisen Leica™-Technologie zur Maskenausrichtung und genauen Belichtung mehrerer Bilder über einen Wafer ausgestattet. Darüber hinaus bietet das Gerät eine einheitliche Substrat- und Photoresist-Handhabung, schnelle Wafer-zu-Substrat-Beladung sowie einen niedrigen Substrat-Handhabungswinkel und Vakuum-Spanntechnik. Diese Fotolackmaschine ist auch sehr programmierbar und anpassbar. Benutzer können die Abfolge der durchgeführten Schritte, die Geschwindigkeit, den Temperatur- und Druckbereich sowie weitere Details auswählen. All diese Eigenschaften machen Spectrum zu einer ausgezeichneten Wahl für die hochvolumige, präzise Photolackverarbeitung.