Gebraucht SEMITOOL Spectrum #9355653 zu verkaufen

SEMITOOL Spectrum ist eine Photoresist-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um chemische und physikalische Prozesse mit chemischer Dampfabscheidung (CVD) zu kombinieren, um einen flachen, gleichmäßigen Dünnfilm von Photoresist auf einer Vielzahl von Substraten zu erzeugen. Es ist als All-in-One-Plattform für Dünnschichtabscheidung, Planarisierung und Resistentfernung konzipiert. Das System nutzt Hochfrequenz (RF) -Plasma, um chemische Reaktionen für eine optimale Resistabdeckung, Dicke und Gleichmäßigkeit zu initiieren. Spektrum ist entworfen, um mehrere Substrate einschließlich Siliziumscheiben, optisches Glas, Galliumarsenid und Keramik unterzubringen. Neben der HF-Plasmaquelle verfügt sie auch über eine Vakuumkammer, Hochleistungs-Stoffübertragungsanlagen und Steuerungssysteme zur Prozessüberwachung und -steuerung. Die Einheit verwendet eine Kombination aus CVD und Photoätzen, um Dünnschichtphotoresist gleichmäßig und genau auf dem Substrat abzuscheiden. Das HF-Plasma initiiert die chemischen Reaktionen, die einen flachen und gleichmäßigen Fotolackfilm auf der Oberfläche erzeugen. Das Plasma hilft auch, Hohlräume, Kratzer und Rückstände zu beseitigen, die die Leistung von Geräten beeinflussen könnten. Nach dem Aufbringen der Dünnschicht wird das Substrat in die Planarisierungsstufe überführt, wo die Folie eben und glatt gemacht wird. Die Planarisierungsstufe verwendet ein Ätzverfahren, um Rückstände oder Unregelmäßigkeiten auf der Oberfläche zu entfernen. Das Substrat wird dann in eine Vakuumkammer gelegt, in der der Photolack ausgehärtet wird, wodurch ein gleichmäßiger und konsistenter Dünnfilm über der Oberfläche entsteht. Das Substrat ist dann zur Resistentfernung bereit. Dies kann entweder durch Nassätzen oder Laserablation erfolgen. Nassätzen verwendet eine Reihe von Chemikalien, um den Photolack von der Oberfläche zu lösen. Die Laserablation verwendet einen spezialisierten Laser, um den Photolack sanft von der Oberfläche zu verdampfen. Schließlich wird das Substrat geprüft, um sicherzustellen, dass das Substrat für die Geräteherstellung geeignet ist. Dies geschieht durch einen elektrischen Test am Gerät, um sicherzustellen, dass das Gerät ordnungsgemäß funktioniert und dass das Gerät frei von Defekten ist. SEMITOOL stellt sicher, dass alle Geräte, die den Test bestehen, für den kommerziellen Einsatz bereit sind. SEMITOOL Spectrum ist eine hocheffiziente und präzise Photolackmaschine, die hochpräzise Geräte mit einheitlicher, konsistenter und zuverlässiger Abdeckung bereitstellt. Es ist ideal für Anwendungen, die eine einheitliche Photolackschicht auf dem Substrat erfordern und gleichzeitig eine optimale Leistung der resultierenden Vorrichtung gewährleisten.