Gebraucht SEMITOOL Spectrum #9384195 zu verkaufen

SEMITOOL Spectrum ist eine spezialisierte Photolackausrüstung, die entwickelt wurde, um die höchsten Steuerungsstufen bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen bereitzustellen. Dieses System nutzt sowohl Nassverarbeitungsverfahren als auch Trockenprozesse, um die Schichtdicke und -form vollständig zu kontrollieren und ermöglicht die Herstellung hochkomplizierter Schichten für ultradetaillierte integrierte Schaltungen. Die Anlage nutzt eine reaktive Aufdampfung (RVD) von Photolack, was bei der IC-Herstellung sehr vorteilhaft ist, da damit dicke Photolackschichten mit sehr geringer Defektivität hergestellt werden können. Das Photoresist-Abscheidungsverfahren wird in zwei Hauptstufen unterteilt, von denen jede entweder in einem nassen oder trockenen Prozess durchgeführt werden kann. In der ersten Stufe wird ein flaches Substrat mit dem gewünschten Photolack beschichtet, worauf eine zweite Stufe folgt, in der der Photolack in das gewünschte Muster umgewandelt wird. Die ermöglichende Technologie von Spectrum ist seine Fähigkeit, die Dicke der Photolackschicht zu steuern. Die Schichtdicke kann präzise gesteuert werden, indem die Menge des abgeschiedenen Photolackdampfes gesteuert wird, wodurch ICs mit sehr feinen Details ausgelegt werden können. Die Schichtdicke ist ebenfalls einstellbar, um Substrate unterschiedlicher Dicke herstellen zu können. Darüber hinaus bietet die SEMITOOL Spectrum Maschine auch ein automatisiertes Steuerungswerkzeug zur Verwaltung der Trocken- und Nassprozesse, die für die Photolackproduktion benötigt werden. Dies ermöglicht die Erzeugung bemerkenswert gleichmäßiger Dicken über die Photolackschicht, wodurch das Erscheinungsbild der fertigen integrierten Schaltungen am höchsten kontrolliert wird. Die Kontrolle des Spektrums über die Photoresist-Prozesse bietet eine Genauigkeit im Schichtdesign, die bei herkömmlichen Methoden unmöglich wäre. Die Eigenschaften der Anlage ermöglichen es, detaillierte Designs in nur wenigen Sekunden mutiert werden, und bietet auch die Möglichkeit, Fehler schnell zu reproduzieren, so dass es ein ideales Modell für die Massenproduktion. SEMITOOL Spectrum kombiniert die Vorteile der Trocken- und Nassverarbeitung, um detaillierte integrierte Schaltungen mit bemerkenswerter Geschwindigkeit und Genauigkeit herzustellen. Die genaue Abscheidungssteuerung und Verwaltung der trockenen und nassen Prozesse ermöglichen eine Genauigkeit, die durch die herkömmliche Photoresist-Verarbeitung unmöglich wäre. Diese Ausrüstung ist ein wesentliches Werkzeug für die Herstellung komplexer integrierter Schaltungen mit hoher Zuverlässigkeit und Leistung.