Gebraucht SEMITOOL SPS-2000 #9284262 zu verkaufen

SEMITOOL SPS-2000 ist eine fortschrittliche Photoresist-Ausrüstung für Wafer-Konditionierung, Trockenstreifen, Spin und Spritzbeschichtung. Das System wurde entwickelt, um die heutigen hochpräzisen Anforderungen für die chemisch-mechanische Verarbeitung von Halbleiterscheiben zu erfüllen. Das Gerät ist in der Lage, Wafer bis zu einem Durchmesser von sechs Zoll zu handhaben und ist mit einem programmierbaren Substrat-Prozessregler ausgestattet. Dieser Controller ist in der Lage, bis zu 16 Programme auszuführen, jedes Programm mit bis zu 32 Segmenten. Es bietet auch benutzerdefinierte Programmsegmente und Parameter Anpassung, so dass Benutzer Substrate mit minimalem menschlichen Eingriff zu verarbeiten. Darüber hinaus hat SPS-2000 die Fähigkeit, Waferstillstand während des Sprühvorgangs zu erkennen. Der Präzisionssprühkopf ist ein wichtiges Merkmal von SEMITOOL SPS-2000. Der Sprühkopf ist mit einer Düse unterschiedlicher Größe ausgebildet, die mit einem 5-Achsen-Bearbeitungsverfahren erzeugt wird. Dies hilft, das gewünschte Sprühmuster zu schaffen, um einheitliche Folien zu erzielen. Der Sprühkopf ist mit einem manuellen oder motorischen Verfahren je nach Höhe und Winkel weiter verstellbar. Für Trockenstreifenanwendungen verfügt SPS-2000 über eine Nassbank mit einer zweikanaligen Variante zur präzisen Steuerung von Temperatur und Durchfluss des entionisierten Wassers. Dies trägt dazu bei, ein präzises Ätzverhalten bei Berührung mit dem Wafer zu gewährleisten und das gewünschte Dünnschichtprofil ohne Beschädigung des Wafers durch Kontaktsplitter oder Kochplatten zu erreichen. Die Maschine verfügt auch über eine automatische Kochplattenerkennung, die den Kontakt der Kochplatte mit dem Wafer verhindert und mögliche Schäden beseitigt. Darüber hinaus verfügt SEMITOOL SPS-2000 über ein integriertes High-Speed-Spin-Tool, das die Drehzahlgenauigkeit von 2200 U/min bietet. Es verfügt über ein langlebiges Motorhaus mit Doppellager-Design und ein ausgewogenes Außenrad für eine verbesserte Präzisionsleistung. Ein optionaler Lärmfilter kann der Anlage hinzugefügt werden, um Umgebungsgeräusche zu reduzieren und die Genauigkeit der Beschichtungsvorgänge zu verbessern. Zusammenfassend ist SPS-2000 ein vielseitiges und fortschrittliches Fotolackmodell, das es Anwendern ermöglicht, präzise Wafer-Konditionierungen, Trockenstreifen, Spinn- und Sprühbeschichtungen durchzuführen. Es bietet anpassbare Programme und Parameter, zusammen mit einem einstellbaren und präzisen Sprühkopf, Bubbler-Ausrüstung, Spinhead und Kochplattenverhütung. Aus diesen Gründen ist dieses System eine ausgezeichnete Wahl für Hersteller, die eine zuverlässige und genaue Photolackeinheit benötigen.