Gebraucht SEMITOOL SRD 270 #293595251 zu verkaufen

SEMITOOL SRD 270 ist eine Photoresistausrüstung, die zum Abscheiden von Filmen auf Halbleiterwafern verwendet wird. Es ist ein fortschrittliches System mit einem einzigartigen Multi-Position beladenen Kassettentauchmodul und einer patentierten Cassette Environment Control Unit (CEC). SRD 270 Maschine erzeugt Filme in einer sehr effizienten und genauen Weise durch Laserätzen Photolackschichten. Es ist mit einer hochintensiven gepulsten Laserdiode, einem erweiterten Scan-Controller und modernster Steuerungssoftware ausgestattet. Das Werkzeug bietet hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit, um Filme auf 200mm, 300mm und 450mm Wafern abzulegen. SEMITOOL SRD 270 Asset besteht aus drei Hauptkomponenten. Zum Be- und Entladen der Wafer dient zunächst das mehrlagig beladene Kassettentauchmodul. Es besteht aus einem Laserintegrationsmodul und einem Kassettentauchmodell. Zweitens wird die Bewegungssteuereinrichtung verwendet, um die Optik während des Ätzvorgangs zu bewegen. Es verfügt über eine optische lineare Translationsstufe und einen präzisen Schrittmotor. Schließlich wird mit dem Cassette Environment Control System (CEC) die Temperatur und Feuchtigkeit des Kassettentauchmoduls gesteuert. Das Gerät SRD 270 kann in bis zu vier Konfigurationen betrieben werden. Im Einpositionsmodus kann es einen einzelnen Wafer gleichzeitig ätzen; in der Simultanschwimmer-Konfiguration können zwei Wafer gleichzeitig geätzt werden; und im Simultan-Slide-Modus vier Wafer gleichzeitig geätzt werden können. Schließlich ermöglicht der erweiterte Schiebemodus das Ätzen von bis zu achtzehn Wafern in einem einzigen Zyklus. SEMITOOL SRD 270 Maschine verfügt auch über erweiterte Prozesssteuerung und Datenerfassungssoftware. Es verfügt über ein automatisiertes SPC, das wichtige Prozessparameter für jeden Wafer-Ätzzyklus aufzeichnet und speichert. Es erfasst auch Temperatur, Feuchtigkeit und andere Umweltparameter des Kassettentauchmoduls. Die Daten werden dann zur Überwachung und Optimierung des Ätzprozesses verwendet. Insgesamt ist SRD 270 ein leistungsstarkes Photolackwerkzeug, das Herstellern eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit für das Abscheiden von Filmen auf Halbleiterscheiben bietet. Durch die Kombination der patentierten CEC-Technologie mit seiner fortschrittlichen Scansteuerungssoftware ist es in der Lage, sehr präzise Folien in einer breiten Palette von Wafergrößen zu produzieren. Damit ist sie eine zuverlässige und effiziente Lösung für die moderne Halbleiterproduktion.