Gebraucht SEMITOOL SRD-880S #9287266 zu verkaufen

SEMITOOL SRD-880S ist eine fortschrittliche Photolackausrüstung für Waferbearbeitungsanwendungen. Das System umfasst einen hochpräzisen Stepper, eine Nassstation, zwei Spinner, eine Laserausrichteinheit und eine UV-Kochplatte. Der Stepper verfügt über eine 6,5-Zoll-Arbeitsstufe mit der Fähigkeit, auf eine 8-Zoll-Arbeitsstufe zu wechseln. Dies ermöglicht Wafergrößen bis 300mm und ermöglicht eine hochpräzise Ausrichtung von Wafern für Niedrigstrom- und Hochstromanwendungen. Die Nassstation verfügt über zwei erhöhte Tanks, die mit DI-Wasser, deionisiertem (DI) Wasser oder gereinigtem Wasser gefüllt werden können. Zusätzlich gibt es einen Abfluss, der eine einfache Reinigung und Entsorgung gefährlicher Flüssigkeiten ermöglicht. Die beiden Spinner an der Maschine sind für eine schnelle und effiziente Photolackverarbeitung konfiguriert. Die horizontalen Spinner sind mit einer korrosionsbeständigen Kammer für Photoresist- und Trockenprozesschemie ausgestattet und verwenden bis zu 600psi Spin-Geschwindigkeit für einen schnelleren Durchsatz. Die vertikalen Spinner verfügen über zwei Vakuumkammern, die für Photoresist- und Trockenprozessanwendungen verwendet werden können. Die beiden Spinner haben auch eine verstellbare Hinterkantenausrichtung für mehr Genauigkeit. Das Laserausrichtwerkzeug auf SRD-880S dient der Präzisionsausrichtung vor dem Beschichten und Ätzen. Die Einheit verfügt über hochgenaue Ausrichtungslaser, einen Feldstopprevolver für Wafer unterschiedlicher Größe und einen Bereich von Laserwellenlängen, die angepasst werden können, um besser an den verwendeten spezifischen Photoresist anzupassen. Schließlich enthält die Anlage eine UV-Kochplatte, die eine hohe Intensität weit-UV-Strahlung für die schnelle Aushärtung von Photoresists zur Verfügung stellt. Diese UV-Kochplatte ist von 0,37 bis 1,2 Watt/cm2 einstellbar, um eine Vielzahl von Photoresist-Formulierungen aufzunehmen. Darüber hinaus ist die UV-Kochplatte entworfen, um die Temperaturgleichförmigkeit während des Betriebs aufrechtzuerhalten. Insgesamt ist SEMITOOL SRD-880S ein umfassendes Photolackmodell, das eine hochpräzise Ausrichtung, schnelle Spinraten und eine gleichmäßige UV-Aushärtung bietet. Das Gerät eignet sich ideal für Waferbearbeitungsanwendungen in Niederstrom- und Hochstromherstellungen.