Gebraucht SEMITOOL SRD #9198117 zu verkaufen

SEMITOOL SRD ist eine Photoresist-Ausrüstung, die hochauflösende Testmuster für Halbleiterwaferbearbeitungsanwendungen liefert. Es eignet sich ideal für Forschung und Entwicklung zu aufstrebenden Anwendungen wie 3D-Interconnect und MEMS-Geräten. SRD-System kann bis zu 8 "(200mm) Wafer verarbeiten und enthält eine hochauflösende Projektions-Photolithographie-Einheit, Wafer-Bühne, heiße und kalte Platten, widerstehen Spin-Beschichtung/Trocknung, Wafer-Heizung/Kühlung und Inline-Metrologie-Tools. Die Maschine basiert auf fortschrittlicher Projektionsoptik und einer motorisierten XY-Bühne zur Ausführung der Waferbelichtung. Die Projektionsoptik weist ein verstellbares Linsenwerkzeug auf, das eingestellt werden kann, um hochauflösende Muster sowohl in der Nähe als auch in der Projektionslithographie bereitzustellen. Die Optik ist in der Lage, Belichtungsmuster mit einer Auflösung von bis zu 0,4 µm zu erzeugen. Ein Resist Spin Coater/Trockner Modul ist im Lieferumfang von SEMITOOL SRD enthalten. Es ist in der Lage, Chemikalien wie Photoresistlösungen zu spinnen und die Oberfläche von Wafern zu trocknen, um die Wafer für die Belichtung vorzubereiten. Ein integriertes Wafer-Heiz-/Kühlmodell ermöglicht eine präzise Temperaturregelung der Wafer während der Belichtung. SRD-Geräte enthalten auch fortschrittliche In-Line-Messtechnik-Tools, um den Prozess zu überwachen und hochauflösende Muster sicherzustellen. Die messtechnischen Werkzeuge verwenden optische Bildgebung, Laserinterferometrie und konfokale Mikroskopie, um die Belichtungsmuster während des Lithographieprozesses zu messen und zu analysieren. Diese Tools ermöglichen eine bessere Prozesskontrolle und sorgen für höchste Leistung aus dem SEMITOOL SRD-System. Insgesamt ist SRD eine vielseitige, hochauflösende Photolithographieeinheit für eine breite Palette von Halbleiterwaferbearbeitungsanwendungen. Seine Projektionsoptik, Widerstand Spin Coater/Trockner, Temperaturkontrollmaschine und Inline-Messtechnik-Werkzeuge alle tragen zu seiner Fähigkeit, detaillierte Muster mit hoher Präzision zu produzieren.