Gebraucht SEMITOOL SRD #9292696 zu verkaufen

SEMITOOL SRD ist eine Photoresist-Ausrüstung zum chemisch-mechanischen Polieren oder chemisch-mechanischen Planarisieren (CMP) von Substraten, einschließlich Wafern, Scheiben und anderer Flachbildschirm-Elektronik. Es ist ein kompaktes System mit integrierten Verarbeitungsfähigkeiten, das eine Prozesskammer, Polierkissen und Polierscheibe umfasst. Die Einheit kann eine Vielzahl von Materialien wie Silizium, Galliumarsenid, Siliziumcarbid und Polyimid verarbeiten. SRD verfügt über eine automatisierte Wafer-Handhabungsmaschine mit rezeptbasierter Programmierung, die ein hohes Maß an Prozesskontrolle ermöglicht. Es ist für eine Reihe von Wafergrößen von 8 bis 300 mm ausgelegt, mit einer einstellbaren Prozesskammerhöhe von 4 „bis 45“. SEMITOOL SRD hat zwei Hauptkomponenten: einen Multi-Disk Mechanism (MDM) und eine Planarization Process Chamber (PPC). Das MDM verwendet eine Mehrscheiben-Baugruppe mit einer einstellbaren Geschwindigkeit, um den Poliervorgang auf dem Substrat durchzuführen. Dazu gehören in Diamanten eingebettete, flexible Polierkissen und eine Vielzahl von Chemikalien, die zur Verbesserung der Prozessleistung entwickelt wurden. Das PPC ist der Bereich, in dem die Polierwirkung stattfindet. Es umfasst eine Prozesskammer, Deckel und Vor- und Nachpolierspülsysteme. Darüber hinaus bietet es eine genaue Steuerung der Prozessparameter einschließlich Durchfluss, Temperatur, Aufschlämmungsgeschwindigkeit und Druck. Das Hauptmerkmal von SRD ist das Polieren mit variabler Geschwindigkeit, wodurch der Polierprozess für eine Vielzahl von Substraten und Chemikalien optimiert werden kann. SEMITOOL SRD hat auch eine manuelle Reinigungsfunktion zur Aufrechterhaltung einer sauberen Polierumgebung und ein Wafer-Reinigungswerkzeug für die routinemäßige Wartung. Das Asset kann ferngesteuert über ein verteiltes Steuerungsmodell betrieben werden, das eine Fernverfolgung und Überwachung von Prozessablauf und -fortschritt ermöglicht. SRD ist aufgrund seiner Prozessflexibilität und fortschrittlichen Prozessanomalien in Echtzeit zu einer beliebten Option in der CMP-Branche geworden. Die Ausrüstung wurde entwickelt, um Fehler zu vermeiden und ein hohes Maß an Gleichmäßigkeit und Kontrolle zu gewährleisten, wodurch eine gleichbleibende Produktqualität gewährleistet ist. SEMITOOL SRD ist eine großartige Option für alle, die ein chemisch-mechanisches Poliersystem mit zuverlässiger Leistung und flexiblen Prozessfähigkeiten suchen.