Gebraucht SEMITOOL SST 2061D #142241 zu verkaufen

ID: 142241
Wafergröße: 6"
Spray acid tool, 6".
SEMITOOL SST 2061D ist eine Photoresist-Ausrüstung, die Anwendern bei der Nutzung ihrer implementierten Lithographieverfahren hilft. Es ist ein kompaktes, robustes und benutzerfreundliches System, das sich für eine breite Palette von Wafergrößen und -verfahren für fortschrittliche Anforderungen an die Mikrofabrikation eignet. Das Gerät verfügt über ein patentiertes Design, um eine genaue und effiziente Verarbeitung verschiedener komplexer Substrate zu gewährleisten. Es unterstützt auch Multi-Resist-Integration, bietet dem Benutzer mehr Flexibilität und breitere Prozessfenster. Die Maschine bietet eine überlegene Kantendefinition bei gleichzeitiger Reduzierung von Rückständen und Partikelbildung. SST 2061D hat ein maximales Kammervolumen von 363 Litern, das bis zu 200mm Wafer aufnehmen kann. Es ist mit einem Ausgabewerkzeug, einer Lichtquelle und einem Temperaturregler ausgestattet. Die Schlüsselkomponente, der Pattern Generator, ist in der optischen Kammer untergebracht und kann den Wafer mit Geschwindigkeiten bis zu 1600 U/min drehen. Der Wafer wird auf eine mehrstufige Ultima Goldstufe geladen und anschließend der Lichtquelle ausgesetzt. Der Lambda-Funktionsgenerator mit geringerer Verzerrung und der Photoresist-Dispense arbeiten dann zusammen, um genau definierte Muster zu erzeugen. Das Modell wurde entwickelt, um den Anwendern durch sein offenes Kammerdesign, die Filtrationsausrüstung der CleanPlus-Technologie und die stabile Substrattemperatur, die von einem integrierten Kühler gesteuert wird, eine verbesserte Photoresist-Prozessleistung zu bieten. Das System verfügt auch über einen reinraumbasierten Computercontroller mit einer grafischen Benutzeroberfläche (GUI). SEMITOOL SST 2061D eignet sich für eine Vielzahl von Photolackprozessen, von einfach bis komplex. Es bietet fortschrittliche Technologie, um eine überlegene Kantendefinition, eine bessere Feldbegrenzungssteuerung und reduzierte Funktionsgrößen mit geringer Partikelbildung zu erstellen. Es ist auch in der Lage, Tieftemperaturverarbeitung für erhöhte Materialverträglichkeit. Insgesamt ist SST 2061D eine fortschrittliche Photolackeinheit, die die neuesten Technologien integriert, um eine hervorragende Prozessleistung zu bieten. Mit seinem leistungsstarken Design, der einfachen Benutzeroberfläche und der langlebigen Konstruktion ist es ein leistungsstarkes Werkzeug, um gewünschte Lithographieergebnisse zu erzielen.
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