Gebraucht SEMITOOL SST 421-280 #293657531 zu verkaufen
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ID: 293657531
Wafergröße: 8"
Spray solvent system, 8"
Rotor
Chamber
Compressed air
Controller
Valves
Sensors
Tubes
Pipes
Process chamber
Tanks
(2) Heated tanks (EKC, NMP or similar)
(2) Unheated tanks (IPA or similar)
(4) Trebor pumps
Rotor, 8"
Bolt quick disconnect
Carrier, P/N: A192-81M-0215
Power supply: 400 V.
SEMITOOL SST 421-280 ist eine vollautomatische Photoresiststreifenausrüstung, die zum Streifen von Photoresist aus Halbleiterwafern verwendet wird. Es verfügt über innovative Technologien, fortschrittliche mechanische Handhabungssysteme und eignet sich für eine breite Palette von Photolackbandprozessen. Das System wurde entwickelt, um den Durchsatz zu verbessern, Zykluszeiten zu reduzieren und überlegene Photolackstreifen zu erzeugen. SEMITOOL SST-421-280 ist mit einem leistungsstarken X-Y-Z Transferkopf ausgestattet, der sich schnell und effizient in seinem Arbeitsbereich bewegen kann. Dieser fortschrittliche Roboterarm ist in der Lage, verschiedene Photoresist-Wafer für die Verarbeitung auf der Produktionslinie auszuwählen, zu greifen und zu platzieren. Die Einheit verwendet auch eine Kurzzeitspeicher-Abbildungsmaschine, die in der Lage ist, die spezifischen Daten zu speichern, die benötigt werden, um Substrate von einer abgewinkelten Position zu einer flachen Ebene genau zu drehen. SST 421-280 verfügt über ein leistungsstarkes Heizwerkzeug mit einer maximalen Temperatur von 280 ° C, das präzise und gleichmäßige Photolackstreifenprozesse mit verschiedenen Halbleitermaterialien bereitstellen kann. Es verfügt auch über eine verbesserte Flüssigkeitsmanagement-Ressource, die entwickelt wurde, um Stripper-Lösung während der gesamten Streifenfolge effektiv zu verwalten, um optimale Bandraten zu erhalten und den Ertrag zu verbessern. Das Modell enthält auch einen präzisen Druckkontrollmechanismus, der hilft, den richtigen Kontakt zwischen Wafer und Resist für einen konsistenten Streifen aufrechtzuerhalten. Eine optionale Autoprofiler-Option ist ebenfalls verfügbar, um die Gleichmäßigkeit des Streifens zu überwachen und bei Bedarf Echtzeit-Anpassungen vorzunehmen. Schließlich verfügt SST-421-280 über eine intuitive Benutzeroberfläche, mit der Benutzer einfach von einer zentralen Konsole aus auf ihre Prozesse zugreifen, sie konfigurieren und überwachen können. Das Gerät enthält auch mehrere Diagnosewerkzeuge, mit denen Benutzer den Fortschritt ihrer Fotolackstreifen verfolgen können. Insgesamt ist SEMITOOL SST 421-280 ein fortschrittliches Photolackstreifensystem, das entwickelt wurde, um einheitliche und zuverlässige Ergebnisse zu liefern. Seine benutzerfreundliche Schnittstelle, leistungsstarke Heizfunktionen und präzise Steuerungssysteme machen es zu einer idealen Wahl für industrielle Halbleiterproduktionsumgebungen.
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