Gebraucht SEMITOOL SST 421-280 #9351561 zu verkaufen

SEMITOOL SST 421-280 ist eine Photoresist-Ausrüstung für Mikrofabrikationsprozesse in der Halbleiterindustrie. Es ist ein vollautomatisiertes Nassbanksystem, das eine kurze Prozesszykluszeit mit hoher Prozessqualitätssicherung und minimalem Bedieneingang kombiniert. Diese Einheit eignet sich für die Verarbeitung von Wafern mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll und enthält eine einzige Kassette zur Kassettensubstratstufe zur Verarbeitung von Substraten von Silizium bis zu gehärteten Metallen. SEMITOOL SST-421-280 verfügt über acht Reagenzien für Prozesse wie Entwickler, Ätzmittel, Neutralisatoren und Entferner. Es ist mit einer modularen Maschinensteuerung ausgelegt, die schnelle Änderungen in den Einstellungen und Prozessparametern ermöglicht. Das Werkzeug ist auch in der Lage, sich in andere Prozesse wie Spin-Spültrocknung und Plasmabearbeitung zu integrieren. Darüber hinaus bietet das Asset eine vollständige Palette von Diagnosen wie Temperatur- und Zykluszählungsüberwachung. SST 421-280 ist mit dem automatisierten Endpunktdetektionsmodell (EPD) ausgestattet, das eine genaue chemische Prozesskontrolle ermöglicht. Dieses Gerät kombiniert die Vorteile einer thermischen Bühne und eines Fotodetektors, um den Oberflächenwiderstand des Wafers in Echtzeit zu überwachen. Darüber hinaus bietet das System einen optischen Datenlogger, der das Zyklusprotokoll und Parameter aufzeichnet, um die Rückverfolgbarkeit von Prozessen zu ermöglichen. Schließlich ist die Einheit auch mit einem Förderer ausgestattet, der sowohl für die Be- und Entladung als auch für die Chargenbeladbarkeit sorgt. Der Förderer ermöglicht auch eine sehr präzise Positionierung von Wafern vor Ätz- und Aschevorgängen, um eine möglichst hohe Ausbeute zu gewährleisten. SST-421-280 ist eine fortschrittliche Photoresist-Maschine, die eine hohe Prozessqualitätssicherung und Flexibilität in einer Vielzahl von Anwendungen für die Halbleiterindustrie bietet. Mit seinem automatisierten Endpunkterkennungswerkzeug, Förderer und einer kompletten Diagnoseserie ermöglicht das Asset präzise und kostengünstige Fertigungsprozesse.