Gebraucht SEMITOOL SST 421 #9229861 zu verkaufen

SEMITOOL SST 421
ID: 9229861
Wafergröße: 8"
Spray solvent tool, 8".
SEMITOOL SST 421 ist eine von SEMITOOL hergestellte Photoresist-Ausrüstung, die eine ideale Lösung für die effiziente Vorbereitung von Substraten für die optische Lithographie und andere Schritte bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen ist. Dieses System zeigt eine einzelne Vier-Stationen-Kabinettskonfiguration, die berücksichtigt, dass das gleichzeitige von vier 6“, runde und 8-Zoll-12-Zoll-Oblaten für den vergrößerten Durchfluss in einer Prozession geht. Der modulare Aufbau der Systeme ermöglicht die Integration von SEMITOOL Triline/Pilot Resist Filtration Unit (RF-0320) und Triline/Pilot Dispensing Machine (DPT-0320). Darüber hinaus bietet SEMITOOL SST-421 Anwendern eine breite Palette von Vor- und Nachbackmöglichkeiten sowie Prozessrezepturen. SST 421 verfügt über ein ergonomisches Design, mit manuellen mechanischen und automatisch beweglichen Teilen, die eine präzise und wiederholbare Badgeometrie ermöglichen. SEMITOOL Accudepth Technologie genau Meter widerstehen Konzentration und Temperatur, um gleichmäßige Foliendicke und Wiederholbarkeit über mehrere Projekte zu gewährleisten. Dieses Werkzeug verfügt auch über eine integrierte Resisttemperatur-Steuerung mit einem integrierten Zirkulationsheizer für konsistente Temperaturdaten und Wiederholbarkeit widerstehen. SST-421 bietet Anwendern viele Funktionen, darunter eine 16 "maximale Substratgröße, Single-Coat-Schritt und Wiederholung ohne physikalische Maskenwechsel, mehrere Entwicklungsoptionen wie konventionelle manuelle Entwicklung Tanks und ein Vier-Tasche-Tank, beide für maximale Effizienz konzipiert, sowie variable Sipe Breiten und einstellbare Schälzyklen. Das Modell verfügt außerdem über eine automatische Diagnosefunktion, die die manuelle Wartung überflüssig macht. SEMITOOL SST 421 bietet Anwendern eine Reihe von Vorteilen, wie sein einzigartiges Design, das Bedienern Zeit sparen soll, und seine Kompatibilität mit einer Reihe von Resists. Die Geräte zeichnen sich durch maximale Prozessflexibilität mit einem breiten Spektrum an Vor- und Nachbackvorgängen sowie durch eine präzise Kontrolle der Resisttemperatur und Konzentrationen aus, die zu überlegener Wiederholbarkeit und Leistung führen. Darüber hinaus bietet SEMITOOL SST-421 sowohl manuelle mechanische als auch automatisch bewegliche Teile, um den chemischen Verbrauch zu reduzieren. Dieses System eignet sich daher ideal für eine Vielzahl von Prozessen, von niedervolumigen bis hin zu hochvolumigen Implementierungen.
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