Gebraucht SEMITOOL SST 421 #9292694 zu verkaufen

SEMITOOL SST 421 Photolacksystem ist ein vielseitiges und zuverlässiges Werkzeug für eine Vielzahl von Halbleiterherstellungsaufgaben. Es ist in der Lage, Substrate zu beschichten, Photoresists zu polymerisieren, Photoresists zu streifen und Substrate zu ätzen. Die Maschine besteht aus einer De-ionisierten Wasserkontrolle, Resistbeschichtung und Resiststreifenmodulen, Photoresist und Ionenfräsmodulen und einem thermischen Oxidationsofen. Das De-ionisierte Wasserkontrollmodul verfügt über zwei Behälter und Pumpen, die exakte Mengen an deonisiertem Wasser liefern sollen. Das Wasser wird verwendet, um Substrate zu spülen sowie in anderen Operationen, so dass es ein integraler Bestandteil des Systems. Die Resistbeschichtungs- und Resiststreifenmodule wurden entwickelt, um präzise Beschichtungslösungen, einschließlich Photoresists, auf Substrate zu liefern. Die Photoresist und Ionenfräsmodule sind so konzipiert, dass sie Photoresists bzw. Ätzsubstrate polymerisieren. Sie können sowohl für verschiedene Prozesse als auch für Geometrien konfiguriert werden. Der thermische Oxidationsofen ermöglicht die Durchführung mehrerer Oxidationsprozesse auf Substraten. Es verfügt auch über einstellbare Temperatureinstellungen und ein schnelles Heizelement, so dass Benutzer mehrere Oxidationsschritte in einem Zyklus durchführen können. Insgesamt bietet SEMITOOL SST-421 Flexibilität und Präzision für eine Vielzahl von Halbleiterfertigungsaufgaben. Substrate können mit entionisiertem Wasser gespült und anschließend mit Photoresists beschichtet und auf eine vorbestimmte Dicke gesponnen werden. Der Photolack kann dann in den Photoresist- und Ionenmahlmodulen polymerisiert und in eine gewünschte Form geätzt werden. Schließlich können die Substrate im Ofen oxidationsverarbeitet werden. Auf diese Weise können Anwender komplizierte Halbleiterherstellungsprozesse in einem einzigen Zyklus abschließen. Darüber hinaus ist es durch seine Flexibilität an eine Vielzahl von Prozessen und Geometrien anpassbar, was es zu einem zuverlässigen und kostengünstigen Werkzeug für die Halbleiterfertigung macht.