Gebraucht SEMITOOL SST 421 #9379925 zu verkaufen

SEMITOOL SST 421 ist eine Photoresist-Batch-Verarbeitungsanlage zur Herstellung integrierter Schaltungen auf Halbleiterwafern. Es ist für Prozesse optimiert, die in erweiterten Speicher-, Logik- und anderen komplexen IC-Technologien verwendet werden. SEMITOOL SST-421 ist für höchste Geräteausbeute, reduzierte Zykluszeit und automatisierte Konfigurierbarkeit konzipiert. Es verwendet proprietäre Ultra Process Technologie- UpTech™, eine Kombination aus fortschrittlichen Algorithmen, integrierten Prozessmodulen und schnell veränderbaren Durchsatzfunktionen. Diese ermöglichen dem Werkzeug einen erhöhten Durchsatz bei verkürzten Zykluszeiten. SST 421 besteht aus einer integrierten, modularen Plattform. Die vier Hauptkomponenten sind ein integriertes Chemieabgabesystem, eine Thermotransferkammer, eine Substratpositioniereinheit und eine Bordsteuerung. Die integrierte chemische Fördermaschine besteht aus vier unabhängig voneinander gesteuerten, klimatisierten chemischen Tanks, die mit einem Pumpenwerkzeug verbunden sind. Die für SST-421 verfügbare chemische Tankkonfiguration ist für jeden einzelnen Prozess anpassbar. Die Anlage umfasst mehrere Pumpen und Filter, die erforderlich sind, um verschiedene Chemikalien wie Photoresist, Entwickler und Ätzmittel zu liefern. Die Thermotransferkammer ist so ausgelegt, dass die Prozesstemperatur über die Waferoberfläche gleichmäßig ist. Diese Kammer verwendet ein eingebautes Modell von Heizungen und Ventilatoren, die je nach Prozessanforderung eingestellt werden können. Die Substrat-Positioniereinrichtung ist eine Wafer-Handhabungseinheit mit fünf einzeln steuerbaren Bewegungsachsen. Dies ermöglicht eine genaue Ausrichtung und Positionierung des Substrats während des Prozesses. Das System umfasst auch einen Roboterarm zum Aufnehmen und Übertragen von Substraten zu und von den chemischen Tanks. Der Onboard Controller ist ein benutzerdefinierter Controller, der für das Tool entwickelt wurde und dem Benutzer eine intuitive Benutzeroberfläche bietet. Dieser Controller ermöglicht es Benutzern, Rezepte zu programmieren und zu ändern. Die Steuerung kann auch Echtzeit-Prozessparameter überwachen. Der Controller kann über ein Netzwerk verbunden werden, um eine Fernbedienung zu ermöglichen. SEMITOOL SST 421 ist eine innovative Photolackverarbeitungseinheit, die für die Produktion von Halbleiterbauelementen mit hohem Volumen und hoher Genauigkeit entwickelt wurde. Es kombiniert fortschrittliche Algorithmen, integrierte Prozessmodule und Schnellwechseldurchsatzfunktionen, um einen erhöhten Durchsatz und verringerte Zykluszeiten zu erzielen. Seine modulare Architektur bietet Konfigurierbarkeit, während sein integrierter Controller eine intuitive, aushärtbare Bedienung gewährleistet.