Gebraucht SEMITOOL SST 421 #9392447 zu verkaufen
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SEMITOOL SST 421 ist eine Photolackausrüstung, die für fortgeschrittene Musterverfahren in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Es ist ein vollautomatisches System, das Anwendern konsistente und wiederholbare Ergebnisse in vielen der anspruchsvollsten Resistprozesse liefert. Das Gerät hat zwei Stufen: Spin-Coat und Hot-Plate. Die Spin-Coat-Stufe verwendet eine Zwangsluftströmungsmaschine zur Erhöhung der Gleichmäßigkeit der Photolackschleuderbeschichtung auf größeren Waferoberflächen. Dies gewährleistet wiederholbare, qualitativ hochwertige Photolackmuster auf Substraten. Die Spin-Coat-Stufe hat auch eine Temperaturregelung für die Beschichtung mehrerer Resisttypen. Die Heizplattenstufe umfasst eine große Bearbeitungsfläche für hohen Durchsatz von Substraten mit gleichmäßiger Erwärmung. Diese gleichmäßige Erwärmung verbessert die Genauigkeit der kritischen Abmessungen und der Kantenplatzierung. Das Werkzeug ist auch mit Komfort im Auge entworfen. Die motorisierte Substratstufe ermöglicht einen reibungslosen Transport und die Handhabung von Substraten in Werkzeugen. Es hat auch ein robotisiertes Werkzeug zum einfachen Be- und Entladen von Wafern. Darüber hinaus bietet der Touchscreen-Controller des Geräts eine benutzerfreundliche Programmierung und Steuerung für die einfache Einrichtung und Bedienung. SEMITOOL SST-421 verfügt über eine bordeigene Messtechnikkammer auf Waferebene, die Schichtdicke und andere Parameter überwachen kann. Dies gewährleistet qualitativ hochwertige Musterergebnisse sowie eine einfache Prozesssteuerung und -optimierung. Das Modell bietet auch Funktionen zur Fernüberwachung und -steuerung, sodass Benutzer von jedem Ort aus flexibel auf das Tool zugreifen können. Insgesamt ist SST 421 eine Hochleistungs-Photoresist-Ausrüstung, die schnelle und zuverlässige Ergebnisse für Benutzer liefert, so dass es eine gute Wahl für fortschrittliche Musterprozesse in der Halbleiterherstellung ist.
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