Gebraucht SEMITOOL SST-742-280 #293657532 zu verkaufen
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ID: 293657532
Spray solvent system
Controller
Valves
Sensors
Tubes
Pipes
Process chamber
Tanks
(4) Heated tanks (EKC, NMP or similar)
(3) Unheated tanks (IPA or similar)
(8) Trebor pumps
Rotor, 8"
Bolt quick disconnect
Carrier, P/N: A192-81M-0215.
SEMITOOL SST-742-280 ist eine Photolackverarbeitungsanlage für hochpräzise Photolithographie. Dieses System hat die Fähigkeit, Wafer bis zu 8 "mit einer Prozessfähigkeit von 5um bis 4um Auflösung zu handhaben. Es ist für die ultrapräzise Abbildung auf der Waferoberfläche konzipiert, die für die Schaffung von integrierten Schaltungen hoher Dichte wesentlich ist. SST-742-280 Einheit basiert auf einer invertierten optischen Mikroskopmaschine zur Lichtbelichtung und genauen Positionierung des Wafers. Der Wafer wird durch eine hochpräzise Maske ultraviolettem Licht ausgesetzt. Die Maske hat eine Vielzahl von feinen Rastern, mit denen Sie die Größe und Form der Bilder anpassen können. Der Wafer wird dann mit einer hochintensiven ultravioletten Lampe belichtet. Die Intensität des Lichts kann so eingestellt werden, dass die gewünschte Photolackbildauflösung erreicht wird. SEMITOOL SST-742-280 Werkzeug enthält einen Flüssigkristallbildschirm (LCD), der es dem Benutzer ermöglicht, die Details der Fotomaske in Echtzeit anzuzeigen. Der LCD-Monitor ist auch in der Lage, Rückkopplungsbilder der Photolackmuster zur Qualitätskontrolle anzuzeigen. Dazu gehört auch eine automatisierte Ausrichteinheit, die sicherstellt, dass die Maske genau mit dem Wafer aufgereiht wird, um eine präzise Ausrichtung zu erreichen. SST-742-280 ist mit einem Fördermodell ausgestattet, um die Wafer zwischen Bearbeitungsstationen zu transportieren. Diese Ausrüstung beinhaltet die Abziehfähigkeit, um eine effizientere Verarbeitung einzelner Wafer zu ermöglichen. Es ist auch mit einer vertieften Tischkonstruktion ausgestattet, um einen verbesserten Kontakt zwischen dem Wafer und der Maske zu gewährleisten. SEMITOOL SST-742-280 System ist ein äußerst zuverlässiges und flexibles Werkzeug für präzise Photolithographie. Es unterstützt Post-Exposition, Ätzen und Post-Bake-Prozess, um den Job zu beenden. Dieses Gerät ist mit einem programmierbaren Logikcontroller und einem selbstoptimierenden Monitor ausgestattet, um sicherzustellen, dass die Prozesseinstellungen während des gesamten Auftrags konstant bleiben. Darüber hinaus verfügt diese Maschine über eine temperaturgesteuerte Umgebung, die die Reproduzierbarkeit der Fotolackbilder gewährleistet.
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