Gebraucht SEMITOOL SST-742 #9229862 zu verkaufen
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SEMITOOL SST-742 Photoresist Equipment ist ein spezialisierter großflächiger Photoresist Coater, dessen Design für die Bereitstellung von hohen Durchsatz, zuverlässige gleichmäßige Beschichtungen optimiert ist. Das Photoresist-System verfügt über eine patentierte, zweistufige Sprühtechnologie, die eine überlegene Beschichtungsgleichförmigkeit und Abscheidungssteuerung ermöglicht. Die integrierte Temperaturregeleinheit sorgt ferner für eine konsistente Beschichtung sowohl über die Oberfläche des Substrats als auch von Substrat zu Substrat. Diese verstärkte Steuerung führt zu einer wiederholbaren und zuverlässigen gleichmäßigen Photolackschicht. Die Maschine von SEMITOOL SST 742 besteht aus einer Hauptkammer und vier Satellitenkammern. Die Hauptkammer ist ein tiefer, rechteckiger Edelstahlkasten bestehend aus einer Kopfsprühkammer, einem Plenum und einer beheizten Kammerwand. Die vier Satellitenkammern, unabhängig von der Hauptkammer, bilden auch das Beschichtungswerkzeug. Jede Satellitenkammer ist mit dem Hauptkammer-Plenum verbunden. Die gesamte Anlage wird weiter durch einen fortschrittlichen integrierten Controller gesteuert, der sowohl eine Temperatur- als auch eine Prozessparameterregelung ermöglicht. Das Sprühverfahren von SST-742 besteht aus einer Sprühmethode, die für eine gleichmäßige Abscheidung auf großen Substraten optimiert ist. Eine maßgeschneiderte Sprühpistole arbeitet innerhalb der Sprühkammer und kehrt das Substrat automatisch mit der Photoresist-Lösung ab, während sie eine schnelle Reaktion und eine präzise Kontrolle der resultierenden Gleichmäßigkeit bietet. Das Substrat wird dann in die beheizte Kammer eingelegt. Diese Kammer hat eine beheizte Wandung mit variabler Temperatur, die bei Temperaturen zwischen 90 ° C (194 ° F) und 160 ° C (320 ° F) arbeitet und eine Optimierung der Beschichtungsleistung für jedes Photoresistprodukt ermöglicht. Die Steuerungssoftware für SST 742 ermöglicht die Einstellung einer Vielzahl von Prozessparametern, wie Verweilzeit, Temperatur, Stickstofffluss und Gasdruck. Ebenfalls enthalten ist ein Rezepteditor, der eine einfache Einrichtung für verschiedene Fotoresists ermöglicht. SEMITOOL SST-742 Photolackmodell ist vielseitig einsetzbar und kann daher vielfältige Anwendungsanforderungen wie Metallabhebungen oder Solarzellenverkapselungen erfüllen.
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