Gebraucht SEMITOOL SST-742 #9356936 zu verkaufen

SEMITOOL SST-742 ist eine Photolackausrüstung, die Halbleitersubstrate effizient und präzise verarbeitet. Diese Batch-Plattform besteht aus einer Überlaufspülung, heißer DI-Spülung, Mittellast, Schleudertrockner, Gleisübertragung, Vorbacken, Aligner, Auto-E-Beam-Lithographie, Nachbacken, Entwickeln und Abladen. Es wurde entwickelt, um überlegene Prozessreproduzierbarkeit, eine breite Palette von Prozessfähigkeiten und benutzerfreundlichen Betrieb zu bieten. Die Überlaufspülung kann 35 bis 200 µm große Substrate verarbeiten, sowie Chip an Bord, Sondenkarten und Substrate mit einer Höhe von bis zu 20 mm. Die heiße DI-Spülanlage benötigt nur eine einzige Versorgung mit sauberem DI-Wasser bei bis zu 95 ° C. Ein einziger Header kann verwendet werden, um bis zu 4 Spülbehälter zu liefern, so dass die Flexibilität, den Grad der Partikelentfernung erforderlich zu wählen. Die Mittellast ist so ausgelegt, dass die Substrate in Position gehalten werden, während der Schleudertrockner nach der DI-Spülung Restwasser auf den Wafern entfernt. Der Gleisübergang ist für den Transport der Wafer von der Mittellast zur Ausrichtstufe verantwortlich. Hier wird die Positionsgenauigkeit des Wafers mit einer Genauigkeit von 25 µm beibehalten. Anschließend wird die Vorbacke zum Aufbringen des Photolacks verwendet, während die automatische E-Beam-Lithographie zum Belichten des Photolacks verwendet wird. Das Nachbacken schließt dann die Anwendung von Photoresist ab, während die Spur den Wafer entlädt, während er sich im System entlang bewegt. Insgesamt ist SEMITOOL SST 742 eine umfassende Photoresist-Einheit, die eine breite Palette von Prozessfähigkeiten und zuverlässige Prozessreproduzierbarkeit bietet. Sein ergonomisches Design bietet optimale Bedienersicherheit, während die Automatisierung der Maschine den Prozessdurchsatz verbessert und die Möglichkeit einer Fehlausrichtung eliminiert. Das Werkzeug ist ideal für die industrielle Herstellung von Hochleistungssubstraten und Halbleiterbauelementen.