Gebraucht SEMITOOL SST-C-321-280 #9238397 zu verkaufen

SEMITOOL SST-C-321-280 ist eine halbautomatische Photoresist-Ausrüstung, die für den Einsatz in Mittel- bis Großserienanwendungen entwickelt wurde. Es eignet sich für die ein- oder doppelseitige Verarbeitung von Substraten bis 12 "Durchmesser. Das System besteht aus mehreren verschiedenen Komponenten: Belichtungskopf, Sprühentwicklerstufe, Spinnspülstufe, Förderer und Spin-Coater. Der Belichtungskopf besteht aus einem Schrittmotor, einer Steuerelektronik und einer zweistufigen Verschlusseinheit, um eine korrekte Belichtungszeit für positiven und negativen Photoresist zu gewährleisten. Der Kopf ist mit einem manuell einstellbaren Fokus und Intensitätszifferblatt ausgestattet und kann bis zu 12 "Substrate handhaben. Es wird mit einem 175cm langen Roboterarm an der Maschine befestigt, um einen einfachen Zugang und eine automatisierte Handhabung von Substraten zu gewährleisten. Die Sprühentwicklerstufe ist ein Multi-Port-Düsenwerkzeug, das Isopropylalkohol (IPA) verwendet, um unbelichteten Photoresist von der Substratoberfläche zu entfernen. Es ist mit einer SPS zur genauen Kontrolle der Menge des verwendeten Entwicklers ausgestattet und verfügt über eine eingebaute Abfallrückführung. Es ist auch mit einem Evakuierungsanschluss ausgestattet, um die sichere und einfache Wartung des Entwicklerpanels zu erleichtern. Mit der Spinnspülstufe wird das Substrat vor dem Spin-Coater-Prozess gespült. Es verfügt über ein eigenes Bedienfeld und eine SPS, um genaue Spülzeiten und Temperaturen zu gewährleisten, die für die Art des auf dem Substrat verwendeten Resists relevant sind. Die Stufe ist mit einem Lösungsmittelrückgewinnungsbehälter ausgestattet und verwendet IPA, um den Spülzyklus durchzuführen. Der Förderer erleichtert die Bewegung von Substraten zwischen verschiedenen Stufen des Modells und verfügt über eine spezielle keramische Heizplatte, um konsistente Temperaturen während des gesamten Photoresist-Zyklus zu gewährleisten. Mit dem Spin-Coater wird der Photolack als sehr dünner Film auf die Substratoberfläche aufgebracht. Es verfügt über einen digitalen programmierbaren Timer und bietet eine Reihe von vorprogrammierten Anwendungszyklen für verschiedene Resisttypen. Die Stufe ist in der Lage, Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 12 "bei Geschwindigkeiten zwischen 200 und 2500 U/min zu spinnen. Abschließend ist SEMITOOL SSTC321280 eine ideale Ausrüstung für die Photolackverarbeitung in mittleren bis hohen Serienanwendungen. Es verfügt über eine Vielzahl von spezialisierten Komponenten, darunter einen Belichtungskopf, Sprühentwickler, Spinnspül- und Beschichtungsstufen und einen Förderer. Das System ist nicht nur leicht zugänglich und wartbar, sondern kann auch eine Reihe von Substratgrößen bis 12 "Durchmesser aufnehmen.