Gebraucht SEMITOOL SST-C-321-280 #9238796 zu verkaufen
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ID: 9238796
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Spray solvent system, 8"
Part number: SST-C-221-280
Cabinet: Stainless steel, class 1
Gen-2 build
Front local interface (Standard)
Tool side touch screen
EMO (Front and rear)
Bottom fed facilities
Top fed exhaust
(2) Heated tanks for NMP based processing (Standard)
(2) IPA Tanks (Non heated)
(280) Bowls (Accommodates, 8" substrate-low profile)
Encapsulated ferrofluidic drive seal
KALREZ Bowl seal
N2 Purged dedicated chemical
DI Water spray manifolds
TFE N2 Dry manifold
Graphic color controller
Process variable control of RPM
Heated chemical temperature
Power supply: 208 VAC, 30 A, 5 wire. 50/50 Hz, 3 Phase
2000 vintage.
SEMITOOL SST-C-321-280 ist für den Einsatz in einer Vielzahl von Photolackanwendungen konzipiert. Es ist eine automatisierte Chargenverarbeitungsanlage, die große Lasten von Resists schnell und effizient bewältigen kann. Das System wurde entwickelt, um eine genaue, wiederholbare Beschichtungsschicht auf einer Vielzahl von Substraten in einer robusten Umgebung bereitzustellen. Das Gerät verfügt über eine Basis aus rostfreiem Stahl, die ihm die Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit verleiht, die erforderlich ist, um der rauen Umgebung eines Photoresist-Prozesses zu widerstehen. Die Basis verfügt auch über eine Reihe von gut positionierten mechanischen Komponenten, die die Zuverlässigkeit in verschiedenen anspruchsvollen Produktionsumgebungen erhöhen. Die Maschine ist voll automatisiert und unterstützt die programmierbare Bewegung des Duschkopfes, so dass mehrere Verarbeitungsschritte und Rezepte möglich sind. Der Kern des Werkzeugs ist eine 280-Liter-Kammer, die von einem einstufigen Kompressor gekühlt wird, der Vakuum in der Kammer erzeugt. Die Kammer ist mit Duschkopf und Scheibenfutter zur Substratunterstützung ausgestattet. Diese Kombination gewährleistet eine gleichmäßige und kontrollierte Resistdispersion über der Substratoberfläche, wodurch eine gleichmäßige Dicke erreicht wird. Die digitalen Bedienelemente an der Frontplatte ermöglichen eine einfache Einrichtung und Bedienung. Das Wafertransportgut auf der Kammer unterstützt bis zu acht Wafer mit unterschiedlichen Durchmessern. Es ist für den Produktionsdurchsatz ausgelegt und verfügt über eine Wafer-zu-Wafer-Zeit in einem Fünf-Sekunden-Bereich. Diese schnellere Waferübertragung ermöglicht einen höheren Durchsatz sowie eine schnellere Inbetriebnahme während der Produktionsläufe. Das Wafer-Transfermodell ist außerdem mit einem Selbstreinigungsmechanismus zur Vermeidung von Verschmutzungen ausgelegt. Für maximale Genauigkeit während der Produktionsläufe sind die Visionssysteme der Geräte mit integrierten Visions- und Lichtquellensystemen ausgestattet, um eine klare Sicht auf die Rückseite der Substrate zu gewährleisten. Die integrierten Systeme liefern jederzeit die bestmöglichen Ergebnisse. Darüber hinaus verfügt das System über eine hochmoderne Signalein-/-ausgang-Steuereinheit, die eine Fernüberwachung des Maschinenstatus ermöglicht. SEMITOOL SSTC321280 Tool ist ein effizientes und zuverlässiges Werkzeug, das sich ideal für die Bearbeitung von Fotolacken eignet. Es wurde entwickelt, um einen robusten und zuverlässigen Betrieb für große Produktionsläufe mit hochwertigen Ergebnissen zu gewährleisten.
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