Gebraucht SEMITOOL SST-C-421-280 #293747945 zu verkaufen

SEMITOOL SST-C-421-280
ID: 293747945
Spray solvent tools.
SEMITOOL SST-C-421-280 ist eine Photolackausrüstung, die den anspruchsvollsten Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Dieses System verwendet ein Kaltplattenmodul, eine konforme Kühlung und eine thermische Sensortechnologie, um eine ultrapräzise und zuverlässige Oberflächenwiderstandsschicht bereitzustellen. Das Kaltplattenmodul arbeitet, indem es ein gekühltes Kühlmittel während der Verarbeitung direkt über das Substrat zirkuliert, die Fläche gleichmäßig hält und eine konsistente Photoresistschicht gewährleistet. Das Gerät ermöglicht bis zu 10,5 SFM/min stationären Druck und 28,1 CPI (Kontaktpunkte pro Zoll) bei höchstem Druck. Die konforme Kühlung erhöht die Gleichmäßigkeit der Photoresistoberflächenschicht und erhöht sowohl die Geschwindigkeit als auch die Genauigkeit des Verfahrens. Diese Technologie berücksichtigt die Form des Substrats für bessere Gleichmäßigkeit und schnellere Umlaufzeiten. Die Maschine ist mit einem thermischen Sensoraufbau ausgestattet, der es dem Anwender ermöglicht, die Oberflächentemperatur des Substrats vollständig zu kontrollieren. Es hat eine Genauigkeit von ± 0,1 ° C und eine Auflösung von 0,01 ° C, was eine höhere Präzision und vorhersehbare Ergebnisse für jede Anwendung ermöglicht. Zu den weiteren Merkmalen des Tools gehören eine benutzerfreundliche Software mit intuitiven Symbolen, eine einstellbare Tankkapazität von bis zu 244 L und eine eingebaute E-Beam-Plattenvorspül- und Nachspülphase. Die Software warnt Benutzer auch vor Prozessanomalien und ermöglicht es ihnen, Tankeinstellungen jederzeit zu ändern und gleichzeitig Echtzeitberichte aller Prozessparameter bereitzustellen. Insgesamt bietet SEMITOOL SSTC421280 Photoresist-Asset hohe Leistung, Compliance und hervorragende Einheitlichkeit und ist damit die ideale Lösung für anspruchsvolle Halbleiter- und Geräteherstellungsanwendungen.
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