Gebraucht SEMITOOL SST-C-621-280 #9360715 zu verkaufen

SEMITOOL SST-C-621-280 Photoresist Equipment ist ein hochmodernes Mehrzonen-, Einkammer-Flüssigkeits- und Trockenhalbleiterinline-Prozesswerkzeug zur Beschichtung, Entwicklung und Abisolierung von Photoresist. Das System ist gut geeignet für 200mm und 300mm Nass- und Trockenprozess-Produktionslinien. Es ist in der Lage, Massen- oder Kleinserienproduktion zu produzieren und ist darauf ausgelegt, Ausfallzeiten zu minimieren und gleichzeitig die Gesamtproduktionskosten zu senken. SST-C-621-280 ist mit einer vollautomatischen Ladeeinheit für Trockenfilmfotoresist ausgestattet, die ohne Spezialausrüstung gehandhabt werden kann. Die schrankgeschlossene Maschine unterhält eine kontrollierte Umgebung, um eine optimale Folienqualität und Gleichmäßigkeit zu gewährleisten. Die unabhängigen Steuerzonen können für eine Vielzahl von Temperatur-, Drehzahl-, Druck- und chemischen Parametern konfiguriert werden. Der Trockenfilmfotoresist wird auf den Satz rotierender Prozeßräder der Kammer geladen, wobei jede der 6 Zonen unabhängig für bestimmte Prozeßparameter einstellbar ist. SEMITOOL SST-C-621-280 verfügt über ein spezialisiertes Wäscher/Entwicklerrad für den Einsatz am Ende des Prozesszyklus, das überschüssige Photoresistlösung und Partikel entfernt. Das Wäscherad ist auf drei Druckeinstellungen einstellbar, die auf die jeweiligen Bedürfnisse des Endanwenders einstellbar sind. Das Photoresist-Tool beinhaltet auch eine proprietäre Vision-Inspektion, die die Filmqualität nach jedem Bearbeitungszyklus überprüft. Dieser Inspektionsprozess trägt zur Minimierung von Chargen- und Wafer-zu-Wafer-Inkonsistenzen bei und kann Partikel-, Lithographie- und Verarbeitungsfehler erkennen und identifizieren. Die Kryo-Kühlfunktion des Modells kühlt Wafer schnell und effektiv und hilft, Oberflächenschäden durch längere Bearbeitung zu lindern. SST-C-621-280 ist auch mit einer Reihe von optionalen und erweiterten Funktionen ausgestattet, wie Prozessüberprüfungssoftware, Plasma-Vorprozess und Auto-Loop-Integration. SEMITOOL SST-C-621-280 wurde entwickelt, um die Halbleiterproduktion durch zuverlässige Leistung und hochauflösende Bildgebung und Foliendickengenauigkeit zu optimieren. Es ist ein einfach zu bedienendes und hochentwickeltes Werkzeug für die Produktion von Nass- oder Trockenprozessen, das große Produktionsmengen mit integrierten Qualitätskontrollparametern aufweist.