Gebraucht SEMITOOL SST-C-632-280 #293808351 zu verkaufen

SEMITOOL SST-C-632-280
ID: 293808351
Spray solvent system.
SEMITOOL SST-C-632-280 ist eine Photolackausrüstung für die Halbleiterwaferbearbeitung. Es unterstützt Produktionsdurchsätze von bis zu 40.000 4-Zoll-Wafern pro Jahr und bietet eine effektive kostengünstige Plattform für die Herstellung kritischer Halbleiterbauelemente. SST-C-632-280 ist ein vollautomatisiertes System, das mit geringen Wartungs- und Verbrauchskosten arbeitet und mit einem breiten Spektrum an Photoresists und Photolithographieverfahren höchste Wiederholbarkeit und Präzision bietet. Das Gerät verfügt über eine 3-Achsen-Präzisions-Translationsstufe und einen 6-Achsen-Roboterarm mit mehrachsigen Scanfunktionen. SEMITOOL SST-C-632-280 ist mit einer einzigartigen scannerlosen Rezeptentwicklungsmaschine konzipiert, die es dem Werkzeug ermöglicht, mehrere Wafer oder Flachbildschirme gleichzeitig zu bearbeiten. Dieses einzigartige Merkmal ermöglicht eine gleichmäßige Belichtung der Fotolacke ohne spezielle Offline-Ausrichtung. Das Asset kann auch den Waferprozess für verschiedene Photolithographie-Prozesse und Mehrfachbelichtungen synchronisieren. Um wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse zu gewährleisten, ist jede Modellkomponente, einschließlich der Wafer-Ladeausrüstung, des Prozessor-Subsystems, der Übertragungs- und Ausrichtungsspanner und der Spin-Chuck-Heizung, mit geschlossenem Betrieb ausgelegt. Darüber hinaus verfügt das System über eine geschlossene Temperaturregelung und einen integrierten Vakuumstaubfilter zum weiteren Schutz der Waferoberfläche. Neben der Photomaskierung und Photoresistentwicklung können SST-C-632-280 auch für Waferreinigungs-, Stripp- und Backoperationen eingesetzt werden. Die Systeme verfügen über eine automatische chemische Anpassung und Dosiergenauigkeit. Die optionale FM-Tune Autofokus Unit erhöht die Auflösung und Genauigkeit weiter. SEMITOOL SST-C-632-280 Photolackmaschine ist eine robuste und kostengünstige Lösung für eine breite Palette von Halbleiterwaferbearbeitungsanwendungen. Es ist in der Lage, sowohl große als auch kleine Chargenverarbeitung zu handhaben und unterstützt hochauflösende Photomaskieroperationen. Das Werkzeug ist eine ausgezeichnete Wahl für die schnelle und zuverlässige Herstellung von integrierten Schaltungen und anderen High-End-Halbleiterbauelementen.
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